[发明专利]三维运动平台

说明书

本发明提供了一种三维运动平台，三维运动平台包括对称设置的第一滑块和第二滑块、对称设置在第一滑块和第二滑块上的第三滑块和第四滑块、抵持在第三滑块和第四滑块之间的第五滑块，第一滑块和第二滑块可沿第一方向相互靠近和远离或者同向运动，第五滑块相对第三滑块和第四滑块可沿第二方向移动，第二方向垂直于第一方向，第一滑块和第二滑块具有相对设置的斜面，第三滑块和第四滑块设置在斜面上，以在第一滑块和第二滑块相互靠近或远离时，带动第三滑块、第四滑块和第五滑块沿第三方向运动，第三方向垂直于第一方向和第二方向。本发明的三维运动平台，可实现三个方向的压微米级运动精度，且结构简单，使用方便，成本低廉。

技术领域

本发明涉及一种三维运动平台。

背景技术

小型高精度三轴运动台，在微电子、半导体行业的应用需求十分迫切，而目前大多采用螺旋千分尺运动平台，或是采用基于压电陶瓷和交叉滚子的集成平台，存在精度低、尺寸大等缺点，无法实现亚微米的运动精度。

有鉴于此，有必要对现有的三维运动平台予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种三维运动平台，以解决现有运动平台精度低、尺寸大的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种三维运动平台，所述三维运动平台包括对称设置的第一滑块和第二滑块、对称设置在所述第一滑块和所述第二滑块上的第三滑块和第四滑块、抵持在所述第三滑块和所述第四滑块之间的第五滑块，所述第一滑块和第二滑块可沿第一方向相互靠近和远离或者同向运动，所述第五滑块相对所述第三滑块和第四滑块可沿第二方向移动，所述第二方向垂直于第一方向，所述第一滑块和第二滑块具有相对设置的斜面，所述第三滑块和第四滑块设置在所述斜面上，以在所述第一滑块和第二滑块相互靠近或远离时，带动所述第三滑块、第四滑块和第五滑块沿第三方向运动，所述第三方向垂直于第一方向和第二方向。

作为本发明的进一步改进，所述三维运动平台还包括设置在所述第一滑块和第二滑块下方的底板、沿第二方向间隔设置在所述第一滑块和所述第二滑块两侧的侧板。

作为本发明的进一步改进，所述第一滑块和第二滑块上设有多个朝向底板和侧板的第一节流孔，所述第一节流孔用以通入空气以在第一滑块和第二滑块与底板和侧板之间形成气膜。

作为本发明的进一步改进，所述底板上设有第一直线电机定子和第一光栅尺读数头，所述第一光栅尺读数头沿着第一方向延伸，且位于所述第一滑块和第二滑块的下方。

作为本发明的进一步改进，所述第一滑块和第二滑块的下方开设有供所述第一直线电机定子和第一光栅尺读数头穿过的让位槽。

作为本发明的进一步改进，所述第三滑块和第四滑块上设有朝向第一滑块和第二滑块的斜面的第二节流孔，所述第二节流孔用以通入空气以在所述第一滑块和第三滑块及所述第二滑块和第四滑块之间形成气膜。

作为本发明的进一步改进，所述三维运动平台还包括用以连接第三滑块和第四滑块的连接块，所述连接块设置在所述第五滑块的下方。

作为本发明的进一步改进，所述连接块上设有第二直线电机定子和第二光栅尺读数头，所述第二光栅尺读数头沿着第二方向延伸，且位于所述第五滑块下方。

作为本发明的进一步改进，所述第三滑块和第四滑块均包括沿第二方向设置在所述第五滑块两侧的固定部和设置在所述第五滑块上方的限位部。

作为本发明的进一步改进，所述第五滑块上设有朝向第三滑块和第四滑块的第三节流孔，所述第三节流孔用以通入空气以在所述第三滑块和第四滑块之间形成气膜。