[发明专利]掩膜框架有效
申请号: | 202110540596.4 | 申请日: | 2021-05-18 |
公开(公告)号: | CN113278917B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 臧公正;李文星;李伟丽;韩冰;张继帅;沈亚南 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K59/10 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230037 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 框架 | ||
本发明实施方式涉及显示技术领域,公开了一种掩膜框架,包括:框架本体,所述框架本体包括蒸镀区和位于蒸镀区四周的框臂;至少一条复合支撑条,所述复合支撑条的两端分别固定于相互平行的两个框臂上,每个所述复合支撑条包括:磁性支撑条、以及位于所述磁性支撑条远离所述框臂一侧的非磁性支撑条;所述非磁性支撑条在平行于所述蒸镀区的平面上的正投影完全覆盖所述磁性支撑条在平行于所述蒸镀区的平面上的正投影。利用本实施例中的掩膜框架能够很大程度上提高蒸镀良率。
技术领域
本发明实施方式涉及显示技术领域,特别涉及一种掩膜框架。
背景技术
OLED显示屏由于具备自发光有机电激发光二极管,对比度高、厚度薄、反应速度快、可弯曲等优异特点,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。
OLED工艺中的蒸镀工艺段,主要用精密掩膜板(Fine Metal Mask,FMM)控制有机材料沉积在基板上进而完成各个膜层的蒸镀。精密掩膜板包括框架本体、支撑条和掩膜条,支撑条起遮挡和支撑作用,焊接在框架本体上。
然而,发明人发现当支撑条的材质为无磁性时,焊接后在重力作用下容易下垂,蒸镀基板不能完全与掩膜条紧密贴合造成蒸镀不良,尤其在大尺寸项目上尤为明显;而当支撑条的材质为磁性材质时,则由于磁场分布不均容易导致磁性支撑条侧翻的问题,同样导致蒸镀不良的问题。
发明内容
本发明实施方式的目的在于提供一种掩膜框架,利用本实施例中的掩膜框架能够很大程度上提高蒸镀良率。
为解决上述技术问题,本发明的实施方式提供了一种掩膜框架,包括:框架本体,所述框架本体包括蒸镀区和位于蒸镀区四周的框臂;至少一条复合支撑条,所述复合支撑条的两端分别固定于相互平行的两个框臂上,每个所述复合支撑条包括:磁性支撑条、以及位于所述磁性支撑条远离所述框臂一侧的非磁性支撑条;所述非磁性支撑条在平行于所述蒸镀区的平面上的正投影完全覆盖所述磁性支撑条在平行于所述蒸镀区的平面上的正投影。
另外,所述非磁性支撑条包括第一平坦部、以及自所述第一平坦部伸出、且朝向所述磁性支撑条的第一凸起部,所述第一凸起部沿所述非磁性支撑条的长度方向延伸。
另外,所述第一凸起部自所述第一平坦部的中间区域伸出。
另外,所述磁性支撑条包括:间隔设置的两个子磁性支撑条;所述第一凸起部嵌入所述两个子磁性支撑条之间,所述第一平坦部完全覆盖所述两个子磁性支撑条远离所述框架本体的表面。该方案中磁性支撑条包括:间隔设置的两个子磁性支撑条,第一凸起部嵌入两个子磁性支撑条之间,第一平坦部完全覆盖两个子磁性支撑条远离框架本体的表面,从而改善非磁性支撑条延伸方向上两侧的贴合效果。
另外,所述磁性支撑条包括:第二平坦部、自所述第二平坦部的两端分别伸出的两个第二凸起部,所述两个第二凸起部均朝向远离所述非磁性支撑条延伸;所述第二平坦部与所述两个第二凸起部形成第一凹槽,所述第一凹槽的开口朝向所述非磁性支撑条,所述第一凸起部嵌入所述第一凹槽内。
另外,所述第一凸起部的数目为两个,且两个所述第一凸起部自所述第一平坦部的两端分别伸出;两个所述第一凸起部与所述第一平坦部形成第二凹槽,且所述第二凹槽的开口朝向所述磁性支撑条。
另外,所述磁性支撑条嵌入所述第二凹槽内。该方案中由于非磁性支撑条卡设在凹槽内,因此能够避免非磁性支撑条侧翻的情况发生,从而更好地提升蒸镀良率。
另外,所述磁性支撑条包括第三平坦部、以及自所述第三平坦部伸出的第三凸起部,所述第三凸起部朝向所述非磁性支撑条延伸;所述第三凸起部卡设在所述第二凹槽内,所述第一平坦部完全覆盖所述第三平坦部远离所述框架本体的表面。该方案中第三凸起部卡设在非磁性支撑条的第二凹槽内,因此能够避免非磁性支撑条侧翻的情况发生;同时磁力较强,从而能够为非磁性支撑条提供更大的支持力,以避免非磁性支撑条在重力作用下下垂的情况发生。
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