[发明专利]一种转移装置

权利要求书

1.一种转移装置，其特征在于，包括吸附模板和固定在所述吸附模板上的腔体，所述吸附模板与所述腔体之间形成空气腔；

所述吸附模板上设置有贯穿所述吸附模板的吸附孔阵列，所述吸附孔阵列中的每个吸附孔的尺寸小于待转移的Micro-LED芯片的尺寸，所述腔体上设置有气体通道，所述气体通道与压力设备连接；

所述吸附模板用于在所述压力设备改变所述空气腔内的气压时，通过所述吸附孔阵列吸附或者释放所述Micro-LED芯片。

2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述吸附孔为台阶孔；所述台阶孔包括大孔段和小孔段，所述大孔段的尺寸大于所述Micro-LED芯片的尺寸，所述小孔段的尺寸小于所述Micro-LED芯片的尺寸。

3.如权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述大孔段为方形或者圆形，所述小孔段为圆形；

所述小孔段的孔径大于5μm且小于200μm。

4.如权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述吸附模板包括玻璃层。

5.如权利要求4所述的转移装置，其特征在于，所述吸附模板还包括至少一层聚合物干膜层，所述小孔段位于所述玻璃层。

6.如权利要求5所述的转移装置，其特征在于，所述玻璃层上和/或所述空气腔内设置有加强筋。

7.如权利要求所述1-6任一项所述的转移装置，其特征在于，所述吸附孔通过激光诱导深腐蚀技术制备。

8.如权利要求所述1-6任一项所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置还包括软管，所述软管用于连接所述气体通道和所述压力设备。

9.如权利要求所述1-6任一项所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置还包括至少一个CCD相机，所述CCD相机用于辅助定位所述转移装置。

10.如权利要求1-6任一项所述的转移装置，其特征在于，所述吸附模板和所述腔体之间设置有密封胶条。

11.如权利要求1-6任一项所述的转移装置，其特征在于，所述腔体外部设置有连接件，所述连接件用于连接外部设备，以使得所述外部设备移动所述转移装置。