[发明专利]搬运装置、搬运方法以及搬运系统

权利要求书

1.一种搬运装置，其特征在于，

所述搬运装置具有：

第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；

第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；以及

移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

在与所述第一处理室组中的各处理室的搬入搬出口对置的位置处设置有与所述处理室相同个数的所述第一机器人，各个机器人在所面对的所述处理室与所述移动式缓冲器之间进行所述基板的交接，

在与所述第二处理室组中的各处理室的搬入搬出口对置的位置处设置有与所述处理室相同个数的所述第二机器人，各个机器人在所面对的所述处理室与所述移动式缓冲器之间进行所述基板的交接。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，

所述第一机器人和所述第二机器人是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有2个自由度的3自由度机器人。

4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述第一机器人设置有比所述第一处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板，

所述第二机器人设置有比所述第二处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板。

5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，

所述第一机器人以及所述第二机器人是在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有3个自由度以上的4自由度以上的机器人。

6.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，

所述搬运室在俯视时呈矩形状，在第三侧壁设置有装载锁定室，

对于所述第一机器人以及所述第二机器人中的至少一方，最接近所述第三侧壁的机器人相对于所述装载锁定室也搬运所述基板。

7.根据权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

所述搬运室具备第四处理室组，该第四处理室组是在与所述第三侧壁对置的第四侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的，

对于所述第一机器人以及所述第二机器人中的至少一方，最接近所述第四侧壁的机器人相对于所述第四处理室组的所述处理室也搬运所述基板。

8.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述移动式缓冲器悬吊在固定于所述搬运室的上表面的所述轨道上，

所述第一机器人以及所述第二机器人固定在所述搬运室的地板面上。

9.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述轨道以所述移动式缓冲器能够与所述搬运室的室内的所有所述机器人交接所述基板的位置以及长度进行设置。

10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，

所述移动式缓冲器是多层式的，

所述第一机器人以及所述第二机器人相对于所述移动式缓冲器的各层进行所述基板的交接。

11.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述轨道为1个，

所述移动式缓冲器与所述轨道两侧的所述机器人进行所述基板的交接。

12.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述搬运装置具备罩，所述罩沿着所述轨道延伸，并且在所述轨道的一个侧面侧悬臂支承于所述搬运室的顶面，通过所述轨道的下表面侧并沿着另一个侧面向上方弯曲。