[发明专利]搬运装置、搬运方法以及搬运系统

说明书

本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

技术领域

公开的实施方式涉及搬运装置、搬运方法以及搬运系统。

背景技术

以往，已知有一种搬运装置，其将具有对基板进行搬运的手部的机器人配置于减压氛围的搬运室内，相对于设置于搬运室的侧壁的处理室搬运基板。

例如，提出了一种基板处理装置，其利用移动式机器人相对于设置于搬运室的侧壁的多个处理室搬运基板，其中，所述移动式机器人借助利用线性马达进行的驱动在搬运室内移动(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-028179号公报

然而，在上述的现有技术中，存在因将机器人设为移动式而导致的成本的增加、因移动机构的复杂化而导致的可用性降低的担忧。若可用性降低，则结果是基板的搬运效率降低，因此，从提高处理前的基板及处理后的基板的搬运效率的观点出发，存在改善的余地。

发明内容

实施方式的一个方式的目的在于，提供能够提高基板的搬运效率的搬运装置、搬运方法以及搬运系统。

实施方式的一个方式所涉及的搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

实施方式的一个方式所涉及的搬运方法包括提供搬运装置的步骤，所述搬运装置具备第一机器人、第二机器人和移动式缓冲器，所述搬运方法让所述第一机器人以及所述第二机器人与移动式缓冲器进行基板的交接。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

实施方式的一个方式所涉及的搬运系统具备搬运室、第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与所述第一机器人以及所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人与所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。