[发明专利]一种双真空泵体抛光液回收装置及方法

权利要求书

1.一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；

抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通；

所述第二真空接口的位置高于所述第一真空接口的位置；

所述第一真空接口位于所述真空腔体的底壁，所述第二真空接口位于所述真空腔体的侧壁；

所述输入接口和所述第二真空接口分别位于所述真空腔体相对的两侧壁上，所述输入接口靠近所述第一真空接口；

所述真空腔体的底壁为凹面，所述第一真空接口位于所述凹面的最低位置处；

所述真空腔体内还设有用于用于阻止抛光液流入第二真空泵体的隔板。

2.如权利要求1所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，所述隔板与所述真空腔体的上壁之间留有真空口。

3.如权利要求2所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，还包括真空度调节装置，所述真空度调节装置用于调节所述真空口的大小。

4.如权利要求3所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，所述第一真空泵体为蠕动泵。

5.一种抛光液回收方法，其特征在于，采用如权利要求1-4任一项所述的回收装置进行抛光液的回收，包括以下步骤：

抛光液由所述第一真空泵体和第二真空泵体产生的真空吸力带入所述真空腔体；所述真空腔体中的抛光液由所述第一真空泵体带入所述抛光液存储装置。