[发明专利]量子点发光二极管外延片及其制备方法在审
申请号: | 202110563381.4 | 申请日: | 2021-05-24 |
公开(公告)号: | CN113540370A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 刘旺平;梅劲;刘春杨;葛永晖 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/54;H01L51/56 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 量子 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
1.一种量子点发光二极管外延片,其特征在于,所述量子点发光二极管外延片包括基底及依次层叠在所述基底上的阳极、空穴注入层、空穴传输层、量子点发光层、电子传输层及阴极,
所述空穴注入层的材料包括聚3,4-乙烯二氧噻吩的摩尔质量与聚苯乙烯磺酸盐,所述空穴传输层的材料包括氧化钼。
2.根据权利要求1所述的量子点发光二极管外延片,其特征在于,所述聚3,4-乙烯二氧噻吩的摩尔质量与聚苯乙烯磺酸盐的摩尔质量之比为6:4~9:1。
3.根据权利要求1所述的量子点发光二极管外延片,其特征在于,所述空穴注入层的厚度与所述空穴传输层的厚度之比为1:3~3:2。
4.根据权利要求1~3任一项所述的量子点发光二极管外延片,其特征在于,所述空穴注入层的厚度为10~30nm,所述空穴传输层的厚度为20~30nm。
5.一种量子点发光二极管外延片的制备方法,其特征在于,所述量子点发光二极管外延片的制备方法包括:
提供一基底,所述基底的表面具有阳极;
在所述阳极上形成空穴注入层,所述空穴注入层的材料包括聚3,4-乙烯二氧噻吩的摩尔质量与聚苯乙烯磺酸盐;
在所述空穴注入层上形成空穴传输层,所述空穴传输层的材料包括氧化钼;
在所述空穴传输层上依次形成量子点发光层、电子传输层与阴极。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述在所述空穴注入层上形成空穴传输层,包括:
在所述空穴注入层上形成氧化钼膜;
使用臭氧对所述氧化钼膜进行处理;
重复以上步骤直至形成所述空穴传输层。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,在300~400℃的温度下使用臭氧对所述氧化钼膜进行处理。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,在300~400℃的温度下使用臭氧对所述氧化钼膜处理1~3min。
9.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述氧化钼膜的厚度为5~10nm。
10.根据权利要求5~9任一项所述的制备方法,其特征在于,所述阳极的材料包括氧化铟锡,在所述阳极上形成空穴注入层之前,所述制备方法还包括:
对所述阳极进行紫外光照射。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华灿光电(浙江)有限公司,未经华灿光电(浙江)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110563381.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择