[发明专利]一种镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于：其包括样品固定架和分别在真空状态的进样室、传样室、第一镀膜室、及第二镀膜室，所述进样室、第一镀膜室、及第二镀膜室分别与所述传样室通过传样狭缝阀门连通或隔断；所述样品固定架内设置若干个巴条且漏出各所述巴条两侧的解理面；所述进样室内设置有输送装置，所述输送装置能将若干个所述样品固定架依次送入所述进样室内或送出设备外；所述传样室内设置有传样机构，所述传样机构能将所述输送装置上的各所述样品固定架依次转移到所述第一镀膜室内和第二镀膜室内后再送回输送装置上；所述第一镀膜室用于清洗各所述巴条两侧的解理面并镀制钝化膜；所述第二镀膜室用于在各所述巴条一侧钝化膜上镀制减反膜、另一侧钝化膜上镀制高反膜。

2.如权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述传样狭缝阀门有三个，分别为设置在所述传样室与所述进样室之间的第二狭缝阀门，设置在所述传样室与所述第一镀膜室之间的第三狭缝阀门，及设置在所述传样室与所述第二镀膜室之间的第四狭缝阀门。

3.如权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述进样室内靠上的位置设置有第一高真空泵，所述进样室内靠下的位置设置有第二高真空泵，所述传样室内设置有第三高真空泵，所述第一镀膜室内设置有第四高真空泵，所述第二镀膜室内设置有第五高真空泵。

4.如权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述进样室的上侧设置有连通内外的第一狭缝阀门，所述输送装置可带动所述样品固定架向下移动将所述样品固定架向下送入所述进样室内，所述输送装置也可带动所述样品固定架向上移动将所述样品固定架向上送出所述进样室外。

5.如权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：设备还包括电控系统；所述输送装置包括第一减速电机、丝杆、输送架、及限位支架；所述限位支架有两个且相对设置，两个所述限位支架的内侧分别形成有竖直延伸的导向槽；所述第一减速电机由所述电控系统控制，所述第一减速电机固定在所述进样室的底部且位于两个所述限位支架之间；所述丝杆竖直延伸且下端与所述第一减速电机的输出轴固定；所述输送架竖直延伸且设置在两个所述限位支架之间，所述输送架的两侧分别形成有与两个所述导向槽一一对应的导向块，所述输送架的中部开设有竖直延伸且与所述丝杆配合的内螺纹孔，使所述输送架套设在所述丝杆外，所述输送架的朝所述传样室的一侧开设有沿竖直方向间隔排布的若干个放样口，各放样口分别用于放置所述样品固定架。

6.如权利要求1所述的一种镀膜设备，其特征在于：所述传样机构为机械手臂，所述机械手臂包括第二减速电机、第一传动齿轮、第二传动齿轮、轴承底座、传动轴、轴承、第一气缸、第二气缸、底片、夹爪、及夹爪驱动气缸；所述第二减速电机由所述电控系统控制并固定在所述传样室的底部；所述第一传动齿轮水平设置且底部与所述第二减速电机的输出轴固定；所述轴承底座固定在所述传样室的底部；所述传动轴竖直设置且通过所述轴承固定在所述轴承底座上，所述传动轴的外周固定有与所述第一传动齿轮啮合的第二传动齿轮；所述第一气缸和所述第二气缸分别由所述电控系统控制，所述第一气缸竖直设置且所述第一气缸的缸体固定在所述传动轴的顶部，所述第二气缸水平设置且所述第二气缸的缸体固定在所述第一气缸的推杆的顶部；所述底片水平设置且固定在所述第二气缸的推杆的顶部；所述夹爪驱动气缸有两个且沿所述第二气缸的宽度方向相对设置，两个所述夹爪驱动气缸的缸体分别固定在所述底片上且分别由所述电控系统控制，所述夹爪有两个且一一对应地固定在两个所述夹爪驱动气缸的推杆的顶部，两个所述夹爪分别由两个所述夹爪驱动气缸驱动以夹紧或松开所述样品固定架的固定轴。