[发明专利]一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线有效
| 申请号： | 202110563961.3 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113285223B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 苌磊;杨鑫;袁小刚;周海山;罗广南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01Q1/50 | 分类号： | H01Q1/50;H01Q3/26;H01Q1/48 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 立式 相位差 离子回旋共振加热 天线 | ||
【权利要求书】：
1.一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：包括RF源(1)，π/2调相器(2)，加热天线a(3)，加热天线b(4)和绝缘管(5)；加热天线a(3)和加热天线b(4)共同套在绝缘管(5)上，两组加热天线都是一端接地，另一端与两路射频输入连接；两路射频信号来源同一个信号源，经调相器(2)将一路射频信号分成两路进行输出。
2.根据权利要求1所述的一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：离子回旋共振加热天线为两段分立式结构。
3.根据权利要求2所述的一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：离子回旋共振加热天线采用两路射频输入，且输入两路激励有π/2的相位差。
4.根据权利要求2所述的一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：两段分立式离子回旋加热天线交错安装。
5.根据权利要求1所述的一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：分立式离子回旋共振加热天线半径根据等离子体的有效尺寸确定，并不局限于某一固定尺寸。
6.根据权利要求1所述的一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，其特征在于：两段分立式离子回旋共振加热天线间隔20-200mm可调，根据射频工作频率或放电工作气体的特征频率进行调整。
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