[发明专利]光刻机外围设备集成监测系统及监测方法

权利要求书

1.一种光刻机外围设备集成监测系统，其特征在于，包括：监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端，其中，

所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；

所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；

所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信；

所述车间空调系统的运行参数包括：厂家温度、厂家湿度、出风压力、大气温度、压缩空气、进出风压差、出风温度、进风温度、冷凝风机状态、电源状态、压缩机工况、电加热工况、循环风机状态；

所述空压机的运行参数包括：压缩空气压力、空压机状态；

所述车间空调系统的厂家温度信号以及厂家湿度信号通过隔离器一分为二，一部分被车间空调系统继续使用，另一部分输入所述监控PLC的模拟量输入模块；

所述监控PLC监测电源状态异常时，输出信号切断所述车间空调系统中空调压缩机和风机的前段交流接触器；

所述监控PLC监测进出风压差，当大于预设值时，输出信号切断所述车间空调系统中电加热和压缩机的交流接触器；

当大气温度大于预设温度，所述监控PLC输出信号控制喷雾器对所述车间空调系统中冷凝器间歇性喷雾；

在所述车间空调系统中压缩机开机之前预设时间，所述监控PLC输出信号控制喷雾器对所述车间空调系统中冷凝器喷雾；

在空压机的用气端安装压力变送器，将代表压缩空气压力的电流信号输入到所述监控PLC的模拟量输入模块。

2.根据权利要求1所述的光刻机外围设备集成监测系统，其特征在于，所述网络连接装置为路由器或交换机；

所述远程终端为电脑或手机。

3.根据权利要求1所述的光刻机外围设备集成监测系统，其特征在于，所述监控PLC将采集到的各类运行参数通过所述通讯模块发送到所述远程终端进行显示，同时在危急情况发送报警信息给所述远程终端。

4.根据权利要求1所述的光刻机外围设备集成监测系统，其特征在于，还包括：光刻机专用的精密空调的空调PLC，以及在所述监控PLC控制下与所述空压机一起进行轮询工作的第二台空压机；

所述空调PLC读取精密空调的运行数据，并通过所述网络连接装置传送至所述监控PLC。

5.一种基于权利要求4所述光刻机外围设备集成监测系统的监测方法，其特征在于，包括：

步骤S1，设置通讯网路，调整为每0.5秒正半周期；

步骤S2，调用车间空调程序，对车间空调系统监控；

步骤S3，调用精密空调程序，对空调PLC监控；

步骤S4，调整为每0.5秒负半周期；

步骤S5，调用UPS程序，对UPS监控；

步骤S6，调用空压机程序，对空压机监控；

步骤S7，检查空压机是否工作，其在工作时空压机在触摸屏中累计工作次数；

步骤S8，检查是否达到报警条件，达到时输出声光报警；

步骤S2包括：

依次读取车间空调系统中原空调温度模拟量、变送器进风口温度、变送器回风口温度、出风口风压值、出进风口压差、户外环境温度、数字量压缩机运行状态、数字量电加热运行状态、数字量冷凝风机运行状态和数字量电源检测器状态；

判断变送器温度是否正常以及读取数值是否合理，若否，设置报警标志位温度变送器有误；若是，进入下一步骤；

判断变送器风压力是否正常以及读取数值是否合理，若否，设置报警标志位风压变送器有误，若是，进入下一步骤；

判断变送器温度是否低于设定值，若是，设置报警标志位温度低；若否，停止压缩机运行；

判断变送器温度是否大于设定值，若是，设置报警标志位温度高；若否，进入下一步骤；

判断变送器风压是否低于正常值90%，若是，设置告警标志位，触摸屏显示相关信息；若否，进入下一步骤；

判断变送器风压是否低于正常值80%，若是，设置告警标志位，停止电加热，停止压缩机；若否，进入下一步骤；

检查电源是否正常，若否，设置电源报警标志位，停机；若是，进入下一步骤；

判断户外温度是否大于30度，若是，判断冷凝风机是否运行，若是，打开电磁阀，冷凝器持续喷雾；

判断户外温度是否大于35度，若是，判断冷凝风机是否运行，若是，打开电磁阀，冷凝器持续喷雾，若否，打开电磁阀，冷凝器间歇性喷雾；

步骤S3包括：

从指定存储空间读取精密空调的运行参数；

温度对应数值进行双精度到实数转换，湿度对应数值进行双精度到实数转换；

判断温度是否超过上极限值，若是，设置报警标志位，超过上极限值；若否，进入下一步骤；

判断温度是否超过下极限值，若是，设置报警标志位，超过下极限值；若否，结束；

步骤S6包括：

从指定存储空间读取第二台空压机的运行参数；

数字量输入第一台空压机判断其运行情况；

读取模拟量输入，获得压缩空气压力值；

首次开机设置开机标志位；

判断是否首次开机，若否，保持原工作权；若是，设置工作权，将工作权给第一台空压机；

第一台空压机是否工作满1.5小时，若否，保持原工作权；若是，切换工作权，第一台空压机停机，第二台空压机工作；

第一台空压机送电工作满30分钟并且压力低于下极限时，设置报警标志位，目前工作权对应空压机工作不足，或者有漏气点；两台空压机一起工作；

步骤S7包括：

检查第一台空压机是否工作，若是，第一台空压机对应存储器里数值累加1；

判断第一台空压机对应存储器里数值是否到达了最大值，若是，第一台空压机对应存储器里数值清零；

检查第二台空压机是否工作，若是，第二台空压机对应存储器里数值累加1；

判断第二台空压机对应存储器里数值是否到达了最大值，若是，第二台空压机对应存储器里数值清零。