[发明专利]光刻机外围设备集成监测系统及监测方法

说明书

本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统，包括：监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端，所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控，并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。

技术领域

本发明涉及光刻机外围设备技术领域，尤其涉及光刻机外围设备集成监测系统。

背景技术

光刻机外围辅助的设备包括车间空调、空压机等。到目前为止，发现了一些问题。例如：车间的恒温恒湿空调报警显示湿度不足进行加热，使得加热最后的温度显示为42度；还有电加热工作情况下，因为风机转速降低而不能及时散热，将电加热的支撑塑料架烧得变形；发生空调室外机声音很大的情况，检查之后发现是所对应的空开处三相电中，有一项对其他相不是380V，而是一个200多到300V之间的一个变化的一个电压；其他诸如空压机、精密空调等设备的运行状况无法及时获悉，因此在故障时也不能在第一时间处理。

因此，需要设计将光刻机的外围设备集成，作为一个整体系统，不仅能够整体显示，也能预防性防止事故的发生，提前做好相应的应对措施。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机外围设备集成监测系统，对各个设备运行状态采集和监控，并实时显示。

本发明的目的还在于提供基于光刻机外围设备集成监测系统的监测方法，有效实现监控。

实现上述目的的技术方案是：

一种光刻机外围设备集成监测系统，包括：监控PLC(可编程逻辑控制器)、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS(不间断电源)、通讯模块、触摸屏和远程终端，其中，

所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；

所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；

所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。

优选的，所述网络连接装置为路由器或交换机；

所述远程终端为电脑或手机。

优选的，所述监控PLC将采集到的各类运行参数通过所述通讯模块发送到所述远程终端进行显示，同时在危急情况发送报警信息给所述远程终端。

优选的，所述车间空调系统的运行参数包括：厂家温度、厂家湿度、出风压力、大气温度、压缩空气、进出风压差、出风温度、进风温度、冷凝风机状态、电源状态、压缩机工况、电加热工况、循环风机状态；

所述空压机的运行参数包括：压缩空气压力、空压机状态。

优选的，所述车间空调系统的厂家温度信号以及厂家湿度信号通过隔离器一分为二，一部分被车间空调系统继续使用，另一部分输入所述监控PLC的模拟量输入模块；

所述监控PLC监测电源状态异常时，输出信号切断所述车间空调系统中空调压缩机和风机的前段交流接触器；

所述监控PLC监测进出风压差，当大于预设值时，输出信号切断所述车间空调系统中电加热和压缩机的交流接触器；

当大气温度大于预设温度，所述监控PLC输出信号控制喷雾器对所述车间空调系统中冷凝器间歇性喷雾；

在所述车间空调系统中压缩机开机之前预设时间，所述监控PLC输出信号控制喷雾器对所述车间空调系统中冷凝器喷雾；

在空压机的用气端安装压力变送器，将代表压缩空气压力的电流信号输入到所述监控PLC的模拟量输入模块。