[发明专利]具有多个容积式真空泵的真空泵送系统和用于运行真空泵送系统的方法

权利要求书

1.一种具有多个容积式真空泵(20、30)的真空泵送系统(100)，包括用于控制所述多个容积式真空泵(20、30)的管理单元(90)，所述多个容积式真空泵(20、30)包括分别连接到同一真空腔室(60)或连接到相互连通的真空腔室(60、70)的至少两个容积式真空泵，所述管理单元(90)配置为：

-识别所述容积式真空泵的一个或多个运行参数，所述一个或多个运行参数与所述真空泵送系统被所述容积式真空泵中的一个或多个污染的风险相关；

-针对所述识别的参数中的每一个设定阈值或阈状态；

-针对所述容积式真空泵中的每一个检测所述识别的参数；

-针对所述容积式真空泵中的每一个，将识别的参数的检测值或状态与对应的阈值或阈状态比较；

-如果所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致，则以同步的方式作用在所述多个容积式真空泵(20、30)中的至少另一个上。

2.根据权利要求1所述的真空泵送系统，其中，所述运行参数选自包括以下参数的组：泵频率、所述真空泵吸收的功率、所述真空泵吸收电流、所述真空泵吸收的电压、所述真空泵的一个或多个选定部件的温度。

3.根据权利要求1所述的真空泵送系统(10)，其中，所述管理单元(90)配置为进行以下动作中的至少一者：

-如果所述容积式真空泵中的一个或多个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个或多个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致，则以同步的方式对所述多个容积式真空泵(20、30)中的两个或更多个进行校正动作；

-在所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致的情况下，以同步的方式关闭所述多个容积式真空泵(20、30)中的至少另一个；

-在所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致的情况下，以同步的方式对所述多个容积式真空泵(20、30)中的所有容积式真空泵进行校正动作；

-如果所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致，则以同步的方式关闭所述多个容积式真空泵(20、30)中的所有容积式真空泵。

-如果所述容积式真空泵中的一个或多个的一个或多个识别的参数的检测值超过所述对应的阈值或者所述容积式真空泵中的一个或多个的一个或多个识别的参数的检测的状态与对应的阈状态不一致，则触发警报。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵送系统(10)，其中，所述管理单元(90)配置为进行以下动作中的至少一者：

-检测所识别的参数，并且将所识别的参数的检测值或状态同时与所述多个容积式真空泵的对应阈值或阈状态进行比较；

-检测所识别的参数，并且根据预定顺序将所识别的参数的检测值或状态与所述多个容积式真空泵的对应阈值或阈状态进行比较；

-检测所识别的参数，并且将所识别的参数的检测值或状态连续地与所述多个容积式真空泵的对应阈值或阈状态进行比较；

-检测所识别的参数，并且将所识别的参数的检测值或状态以预定的时间间隔来与所述多个容积式真空泵的对应阈值或阈状态进行比较。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵送系统(10)，其中，所述容积式真空泵中的至少一个是油脂润滑式真空泵。

6.根据权利要求5所述的真空泵送系统(10)，其中，所述至少一个油脂润滑式真空泵是回转叶片式真空泵(20、30)。