[发明专利]具有多个容积式真空泵的真空泵送系统和用于运行真空泵送系统的方法

说明书

本发明涉及具有多个容积式真空泵的真空泵送系统和用于运行真空泵送系统的方法。本发明涉及一种具有多个容积式真空泵(20、30)以及更特别地并行工作的多个容积式真空泵的真空泵送系统(100)，并且涉及一种用于操作这样的真空泵送系统的方法。该真空泵送系统(100)包括管理单元(90)，该管理单元对真空泵送系统的所有容积式真空泵进行同步控制，并且因此允许检查真空泵送系统的可能的污染风险，并且如果需要，进行必要的校正动作而不需要对真空泵送系统的构造进行任何修改。

技术领域

本发明涉及一种具有多个容积式真空泵、并且更特别地是并行工作的多个容积式真空泵的真空泵送系统。

本发明还涉及一种用于运行具有多个容积式真空泵、并且更特别地是并行工作和/或连接到彼此连通的真空腔室的多个容积式真空泵的真空泵送系统的方法。

背景技术

真空泵用来实现真空状态，即用于排空腔室(所谓的“真空腔室”)并且在所述腔室中建立亚大气压状态。已知具有不同结构和运行原理的许多不同类型的真空泵，并且每次都要根据特定应用的需要、即根据有待在相应的真空腔室中取得的真空度来选择特定的真空泵。

容积式真空泵将气体从密封区域移位到大气或下游的泵级。

容积式泵在产生低真空状态时非常高效并且划算。为此原因，其可以用作真空系统中的主要泵，但是其常常用作其他泵(比如涡轮分子泵)的压力泵。

不幸地，在一些情况下，容积式真空泵，比如回转叶片泵或涡旋泵，可能污染供其安装在其中的真空系统。

回转叶片真空泵可以通过非限制性示例的方式来考虑。

图1和图2示意性地示出了真空泵送装置150，其包括传统的回转叶片式真空泵110和与其相关联的电机140。

如图1和图2所示，传统的回转叶片式真空泵110通常包括接收泵体114的壳体112，在泵体114内限定了围绕并且限定圆柱形泵送腔室116的定子。泵送腔室116容纳圆柱形转子118，转子118关于泵送腔室116的轴线偏心地定位；一个或多个能够径向移动的径向叶片120(图2所示的示例中为两个)安装在所述转子118上并且例如通过弹簧122保持抵靠泵送腔室116的壁。

在真空泵110运行期间，气体从真空腔室流动通过泵的入口端口124，并且通过抽吸管路126传递到泵送腔室116中，其在泵送腔室116处由叶片120来推动并且因此压缩，并且然后其通过终止于对应的出口端口130处的排泄管路128排泄。

适当量的油从油罐(未示出)引入到壳体112中来用作冷却剂和润滑流体。在图2所示的示例中，例如，内壳114浸没在油槽132中。

为了驱动真空泵的转子118，真空泵送装置150还包括电机140，并且泵转子118安装到由所述电机驱动的转动轴。

如上所述，在回转叶片式真空泵中，使用油来对泵的移动零件进行润滑和冷却。在这种类型的泵中，油还用作用于在不同压力下的区域之间提供密封的密封剂。

在真空泵的入口处存在油蒸汽引发回流和污染被真空泵排空的真空腔室的风险。

在其中有两个或更多个并行工作和/或连接到彼此连通的真空腔室的回转叶片式真空泵的真空泵送系统中，这种风险更高。

的确，在这种复杂的真空泵送系统中，如果回转叶片式真空泵中的一个由于失效而停止，则真空泵送系统的另一个回转叶片式真空泵可以抽吸在已经停止的真空泵的入口处的油蒸汽。因此，所抽吸的油传递通过真空泵所连接到的真空腔室，并且最终的效果是污染了真空泵送系统。

为了防止对真空腔室的污染，容积式真空泵、比如回转叶片式真空泵可以配备有保护装置以在泵关闭时避免压力升高和/或油朝向真空腔室回流。通过这种方式，真空腔室可以与容积式真空泵完全隔离。