[发明专利]化学品分配系统

权利要求书

1.一种化学品分配系统，其特征在于，包括：

第一化学品供应管线，被配置成将来自日用贮槽的半导体处理化学品提供到一个或多个生产使用点(POU)歧管或化学品测试使用点歧管；及

第二化学品供应管线，被配置成基于所述第一化学品供应管线被配置成将来自所述日用贮槽的所述半导体处理化学品提供到所述一个或多个生产使用点歧管或是所述化学品测试使用点歧管，而将来自存储筒的半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点歧管或所述一个或多个生产使用点歧管，

其中用于所述第一化学品供应管线的泵不同于用于所述第二化学品供应管线的泵。

2.根据权利要求1所述的化学品分配系统，其特征在于，所述第一化学品供应管线被配置成将来自所述日用贮槽的所述半导体处理化学品提供到所述一个或多个生产使用点歧管；且

其中所述第二化学品供应管线被配置成将来自所述存储筒的所述半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点歧管。

3.根据权利要求2所述的化学品分配系统，其特征在于，还包括：

一个或多个第一泵，用于通过所述第一化学品供应管线将来自所述日用贮槽的所述半导体处理化学品泵送到所述一个或多个生产使用点歧管；及

第二泵，用于通过所述第二化学品供应管线将来自所述存储筒的所述半导体处理化学品泵送到所述化学品测试使用点歧管。

4.根据权利要求1所述的化学品分配系统，其特征在于，所述第一化学品供应管线被配置成将来自所述日用贮槽的所述半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点歧管；

其中所述第二化学品供应管线被配置成将来自所述存储筒的所述半导体处理化学品提供到所述一个或多个生产使用点歧管；且

其中所述化学品分配系统还包括：

一个或多个第一泵，用于通过所述第一化学品供应管线将来自所述日用贮槽的所述半导体处理化学品泵送到所述化学品测试使用点歧管；及

第二泵，用于通过所述第二化学品供应管线将来自所述存储筒的所述半导体处理化学品泵送到所述一个或多个生产使用点歧管。

5.根据权利要求1所述的化学品分配系统，其特征在于，还包括：

控制器，用于：

确定对所述存储筒中的所述半导体处理化学品进行过滤；

识别用于过滤所述存储筒中的所述半导体处理化学品的过滤循环的所配置数量；及

使泵将所述存储筒中的所述半导体处理化学品循环通过包括在所述化学品分配系统中的过滤器达与过滤循环的所述所配置数量相等的过滤循环数量。

6.一种化学品分配方法，其特征在于，包括：

由一个或多个处理器确定将对化学品分配系统的存储筒中的半导体处理化学品执行测试；及

由所述一个或多个处理器并基于确定出将执行所述测试，而使所述化学品分配系统从生产供应架构转变到独立的生产及测试架构，

其中，在所述独立的生产及测试架构中，所述化学品分配系统的第一化学品供应管线被配置成将日用贮槽中的半导体处理化学品提供到生产使用点(POU)或化学品测试使用点，且

其中，在所述独立的生产及测试架构中，所述化学品分配系统的第二化学品供应管线被配置成基于所述第一化学品供应管线被配置成将所述日用贮槽中的所述半导体处理化学品提供到所述生产使用点或是所述化学品测试使用点，将所述存储筒中的所述半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点或所述生产使用点。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述独立的生产及测试架构中：

所述第一化学品供应管线被配置成将所述日用贮槽中的所述半导体处理化学品提供到所述生产使用点，且

所述第二化学品供应管线被配置成将所述存储筒中的所述半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点；并且

其中所述方法还包括：

使第一泵通过所述第一化学品供应管线将所述日用贮槽中的所述半导体处理化学品提供到所述生产使用点；及

使第二泵通过所述第二化学品供应管线将所述存储筒中的所述半导体处理化学品提供到所述化学品测试使用点。