[发明专利]触控面板、触控面板制造方法及显示装置在审
| 申请号： | 202110573897.7 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113342214A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 肖刚;许建凡;赵玲;罗道源;宋洋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 面板 制造 方法 显示装置 | ||
1.一种触控面板，包括：基板；设置于所述基板上的第一绝缘层，设置于所述第一绝缘层上的第一电极层，设置于所述第一电极层上的第二绝缘层，设置于所述第二绝缘层上的第二电极层；
所述第一电极层与所述第一绝缘层之间设置有第三绝缘层，所述第三绝缘层的刻蚀速度小于所述第一电极层及所述第一绝缘层的刻蚀速度。
2.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第三绝缘层为氧化硅膜层。
3.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第三绝缘层与所述第一电极层在所述基板上的正投影重合。
4.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第三绝缘层厚度为至
5.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第一绝缘层及所述第二绝缘层为氮化硅膜层。
6.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第二电极层与所述第一电极层在所述基板上的正投影重合。
7.根据权利要求1所述的触控面板，其中，所述第二电极层上设置有机保护层。
8.一种触控面板制造方法，包括：
在基板上依次形成第一绝缘层、第三绝缘层及第一电极层；
对所述第一电极层及所述第三绝缘层按照预设图案进行刻蚀；
在刻蚀后的所述第一电极层上依次形成第二绝缘层及第二电极层。
9.根据权利要求8所述的制造方法，还包括：
形成所述第二电极层后，对所述第二电极层按照预设图案进行刻蚀；
在刻蚀后的所述第二电极层上形成有机保护层。
10.一种显示装置，包括：如权利要求1至7任一项所述的触控面板。
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