[发明专利]触控面板、触控面板制造方法及显示装置

说明书

本公开提供的一种触控面板、触控面板制造方法及显示装置，包括：基板；设置于所述基板上的第一绝缘层，设置于所述第一绝缘层上的第一电极层，设置于所述第一电极层上的第二绝缘层，设置于所述第二绝缘层上的第二电极层；所述第一电极层与所述第一绝缘层之间设置有第三绝缘层，所述第三绝缘层的刻蚀速度小于所述第一电极层及所述第一绝缘层的刻蚀速度。本公开通过在第一电极层与第一绝缘层之间设置一层刻蚀速度小于第一电极层的第三绝缘层，当第一电极层因刻蚀率的不同使局部完成刻蚀后，由于第三绝缘层的保护，防止了刻蚀气体对第一绝缘层的刻蚀，从而防止了第一绝缘层表面因被刻蚀造成的粗糙度差异较大，从而防止了宏观触控屏整体泛白的不良。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种触控面板、触控面板制造方法及显示装置。

背景技术

在生产触控屏工艺过程中，在进行完第一电极层的刻蚀后宏观查看时，可能会发现产品整面会存在泛白的情况，经过分析，严重的泛白情况是由于绝缘膜层被刻蚀后表面粗糙度差异较大造成的。以此，造成了触控屏整体泛白的不良。

发明内容

有鉴于此，本公开的目的在于提出一种触控面板、触控面板制造方法及显示装置。

基于上述目的，本公开提供了一种触控面板，包括：基板；设置于所述基板上的第一绝缘层，设置于所述第一绝缘层上的第一电极层，设置于所述第一电极层上的第二绝缘层，设置于所述第二绝缘层上的第二电极层；

所述第一电极层与所述第一绝缘层之间设置有第三绝缘层，所述第三绝缘层的刻蚀速度小于所述第一电极层及所述第一绝缘层的刻蚀速度。

在一些实施方式中，其中，所述第三绝缘层为氧化硅膜层。

在一些实施方式中，其中，所述第三绝缘层与所述第一电极层在所述基板上的正投影重合。

在一些实施方式中，其中，所述第三绝缘层厚度为至

在一些实施方式中，其中，所述第一绝缘层及所述第二绝缘层为氮化硅膜层。

在一些实施方式中，其中，所述第二电极层与所述第一电极层在所述基板上的正投影重合。

在一些实施方式中，其中，所述第二电极层上设置有机保护层。

基于同一构思，本公开还提供了一种触控面板制造方法，包括：

在基板上依次形成第一绝缘层、第三绝缘层及第一电极层；

对所述第一电极层及所述第三绝缘层按照预设图案进行刻蚀；

在刻蚀后的所述第一电极层上依次形成第二绝缘层及第二电极层。

在一些实施方式中，还包括：

形成所述第二电极层后，对所述第二电极层按照预设图案进行刻蚀；

在刻蚀后的所述第二电极层上形成有机保护层。

基于同一构思，本公开还提供了一种显示装置，包括：如上所述的触控面板。

从上面所述可以看出，本公开提供的一种触控面板、触控面板制造方法及显示装置，包括：基板；设置于所述基板上的第一绝缘层，设置于所述第一绝缘层上的第一电极层，设置于所述第一电极层上的第二绝缘层，设置于所述第二绝缘层上的第二电极层；所述第一电极层与所述第一绝缘层之间设置有第三绝缘层，所述第三绝缘层的刻蚀速度小于所述第一电极层及所述第一绝缘层的刻蚀速度。本公开通过在第一电极层与第一绝缘层之间设置一层刻蚀速度小于第一电极层的第三绝缘层，当第一电极层因刻蚀率的不同使局部完成刻蚀后，由于第三绝缘层的保护，防止了刻蚀气体对第一绝缘层的刻蚀，从而防止了第一绝缘层表面因被刻蚀造成的粗糙度差异较大，从而防止了宏观触控屏整体泛白的不良。

附图说明