[发明专利]能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质

权利要求书

1.一种能够对准图案的转印装置，包括：

第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；

第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；

拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键；以及

UV照射部，与所述拍摄部沿着水平方向隔开设置，并用于将UV照射于所述树脂，

所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，

所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂，

所述UV照射部构成为能够在用于将UV照射于所述树脂的照射位置和不照射UV的非照射位置之间沿着水平方向移动，

所述拍摄部构成为能够在用于识别所述定位标记以及所述定位键的拍摄位置和不识别所述定位标记以及所述定位键的非拍摄位置之间沿着水平方向移动，

当所述拍摄部位于拍摄位置时，所述UV照射部移动以位于非照射位置，当所述拍摄部位于非拍摄位置时，所述UV照射部移动以位于照射位置。

2.根据权利要求1所述的能够对准图案的转印装置，其中，

所述能够对准图案的转印装置还包括：

驱动部，使所述拍摄部以及所述UV照射部沿着水平方向移动，

所述驱动部使所述拍摄部在拍摄位置和非拍摄位置之间移动，并使所述UV照射部在所述照射位置和非照射位置之间移动。

3.根据权利要求2所述的能够对准图案的转印装置，其中，

所述驱动部包括：

支承体，支承所述拍摄部以及所述UV照射部；以及

致动器，使所述支承体沿着水平方向移动以使所述拍摄部以及所述UV照射部一起沿着水平方向移动。

4.根据权利要求3所述的能够对准图案的转印装置，其中，

所述致动器包括滚珠螺杆马达。

5.根据权利要求1所述的能够对准图案的转印装置，其中，

所述能够对准图案的转印装置还包括：

驱动部，使所述拍摄部以及所述UV照射部沿着水平方向移动；以及

控制部，执行用于所述第一按压单元、所述第二按压单元、所述拍摄部以及所述UV照射部的工作的控制，

所述驱动部使所述拍摄部在拍摄位置和非拍摄位置之间移动，并使所述UV照射部在所述照射位置和非照射位置之间移动，

所述控制部控制所述驱动部使得为了将UV照射于所述树脂而所述UV照射部位于所述照射位置，并控制所述驱动部使得为了识别所述定位标记以及所述定位键而所述拍摄部位于所述拍摄位置。

6.一种能够对准图案的转印装置，包括：

第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；

第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及

拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，

所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，

所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂，

所述拍摄部构成为，调整水平位置、垂直位置以及角度中的一个以上，以视场角朝向形成有所述定位标记以及所述定位键的位置。

7.根据权利要求6所述的能够对准图案的转印装置，其中，

所述拍摄部构成为具有识别所述定位标记的第一焦距以及识别所述定位键的第二焦距，并且焦距变更为所述第一焦距或者所述第二焦距。