[发明专利]超精密加工对心机构

权利要求书

1.一种超精密加工对心机构，其特征在于，包括：

机床本体，包括旋转主轴；

真空吸盘，连接于所述旋转主轴，且所述真空吸盘随所述旋转主轴转动，并通过真空吸附固定待加工工件；

对心卡盘，用于夹持待加工工件；

翻转机构，转动连接于所述机床本体，所述对心卡盘连接于所述翻转机构，所述翻转机构转动驱动所述对心卡盘转动，以使所述对心卡盘的中心轴线与所述真空吸盘的中心轴线重合；

所述翻转机构包括第一翻转机构和第二翻转机构；所述第一翻转机构转动连接于所述机床本体，所述第二翻转机构转动连接于所述第一翻转机构，所述第一翻转机构的转动轴线与所述第二翻转机构的转动轴线平行；所述对心卡盘连接于所述第二翻转机构；

所述第一翻转机构包括第一旋转驱动件、转轴和连杆组件，所述第一旋转驱动件连接于所述机床本体；所述转轴连接于所述第一旋转驱动件的转动部；所述连杆组件一端连接于所述转轴，所述第二翻转机构转动连接于所述连杆组件的另一端；

所述第二翻转机构包括保持架、第二旋转驱动件和夹持架，所述保持架连接于所述连杆组件；所述第二旋转驱动件的固定部连接于所述保持架；所述夹持架连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持架。

2.如权利要求1所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一翻转机构还包括万向节连轴器，所述万向节连轴器一端连接于所述第一旋转驱动件的转动部，另一端连接于所述转轴。

3.如权利要求2所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述夹持架包括连接段以及与所述连接段连接的夹持段；

所述连接段远离所述夹持段的一端转动连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持段。

4.如权利要求1～3任意一项所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述超精密加工对心机构还包括第一定位机构、第二定位机构、第三定位机构；

所述第一定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Y轴方向的相对位置；

所述第二定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体X轴方向的相对位置；

所述第三定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Z轴方向的相对位置。

5.如权利要求4所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一定位机构、第二定位机构均包括第一定位件和第二定位件；

所述第一定位件和所述第二定位件两者中的一者连接于所述真空吸盘，所述第一定位件和所述第二定位件两者中的另一者连接于所述对心卡盘；

所述第一定位件和所述第二定位件可拆卸地插接配合。

6.如权利要求5所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一定位件连接于对心卡盘，所述第二定位件连接于所述真空吸盘；

所述第一定位件为凸起结构，所述凸起结构采用磁性金属制成且形状为球形；

所述第二定位件为凹槽结构；所述凹槽结构内包括电磁棒，所述电磁棒的数目为两根，两根所述电磁棒间隔且平行；

所述第一定位机构中的电磁棒的轴向方向和所述第二定位机构中的电磁棒的轴向方向垂直；

所述凸起结构可拆卸地插接于两根电磁棒之间。

7.如权利要求6所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第三定位机构包括两个相互能够吸合的磁吸件，两个所述磁吸件分别设置于所述对心卡盘和所述真空吸盘相对的两个侧面。