[发明专利]超精密加工对心机构

说明书

本申请提供了一种超精密加工对心机构，包括机床本体、真空吸盘、对心卡盘、翻转机构，真空吸盘连接于机床本体上的旋转主轴，翻转机构转动连接于机床本体，对心卡盘连接于翻转机构，翻转机构翻转，驱动对心卡盘转动，以使对心卡盘的中心轴线与真空吸盘的中心轴线重合。与现有技术相比，本申请超精密加工对心机构，通过翻转机构翻转，使对心卡盘与真空吸盘的中心对齐，实现对心卡盘与真空吸盘之间的自动精准对心，简化对心步骤，提高对心精度以及生产效率。

技术领域

本申请属于机床本体技术领域，更具体地说，是涉及一种超精密加工对心机构。

背景技术

随着微电子技术、信息技术、航空航天技术等高新技术的飞速发展，迫使超精密加工技术需要不断进步，以满足上述行业对零件的加工质量越来越高的需求。超精密切削是超精密加工中的一个重要领域，主要是通过使用精密的单晶金刚石刀具，直接在工件表面加工出超光滑的镜面，保证工件的加工精度和表面质量，减少后续工件表面的抛光等精加工工序，极大的提高加工效率。

超精密加工中，工件通过中间夹具吸附在真空吸盘上，由于夹具与主轴分体设置，在夹具将工件放置在真空吸盘过程中，需要手动调整夹具，使夹具的中心轴线与真空吸盘轴线对齐。

采用上述方案，手动调整夹具对心的过程比较繁琐，且自动化程度低，加工效率低下。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种超精密加工对心机构，以解决现有技术中存在的夹具对心的过程比较繁琐、且自动化程度低的技术问题。

为实现上述目的，本申请提供一种超精密加工对心机构，包括：

机床本体，包括旋转主轴；

真空吸盘，连接于所述旋转主轴，且所述真空吸盘随所述旋转主轴转动，并通过真空吸附固定待加工工件；

对心卡盘，用于夹持待加工工件；

翻转机构，转动连接于所述机床本体，所述对心卡盘连接于所述翻转机构，所述翻转机构转动驱动所述对心卡盘转动，以使所述对心卡盘的中心轴线与所述真空吸盘的中心轴线重合。

一实施例中，所述翻转机构包括第一翻转机构和第二翻转机构；

所述第一翻转机构转动连接于所述机床本体，所述第二翻转机构转动连接于所述第一翻转机构，所述第一翻转机构的转动轴线与所述第二翻转机构的转动轴线平行；

所述对心卡盘连接于所述第二翻转机构。

一实施例中，所述第一翻转机构包括：

第一旋转驱动件，连接于所述机床本体；

转轴，连接于所述第一旋转驱动件的转动部；

连杆组件，一端连接于所述转轴，所述第二翻转机构转动连接于所述连杆组件的另一端。

一实施例中，所述第一翻转机构还包括万向节连轴器，所述万向节连轴器一端连接于所述第一旋转驱动件的转动部，另一端连接于所述转轴。

一实施例中，所述第二翻转机构包括：

保持架，连接于所述连杆组件；

第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件的固定部连接于所述保持架；

夹持架，所述夹持架连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持架。

一实施例中，所述夹持架包括连接段以及与所述连接段连接的夹持段

所述连接段远离所述夹持段的一端转动连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持段。

一实施例中，所述超精密加工对心机构还包括第一定位机构、第二定位机构、第三定位机构；