[发明专利]掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法

权利要求书

1.一种掩模制造设备，所述掩模制造设备包括：

第一台，掩模框架设置在所述第一台上，所述掩模框架包括在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上布置的多个单体开口；

传输模块，将多个单体掩模放置在所述掩模框架上，以使所述掩模框架的所述多个单体开口分别与所述多个单体掩模叠置；

相机模块，拍摄所述多个单体掩模；

第一处理模块，在边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，所述边界部分与所述掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应，所述第一边缘区域设置在所述边界部分上；以及

第二处理模块，向所述第N单体掩模的所述第一边缘区域与所述第N单体掩模的第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，所述第二边缘区域从所述第一边缘区域延伸，其中，N是自然数。

2.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述传输模块包括：

头部组件，包括头部框架和设置在所述头部框架的下表面上的至少一个工具；以及

传输驱动器，在所述第一方向、所述第二方向或第三方向上传输所述头部组件，所述第三方向与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面垂直。

3.根据权利要求2所述的掩模制造设备，其中，

所述至少一个工具包括多个工具，并且

所述多个工具彼此间隔开，并且设置在包括在所述头部框架中的开口周围。

4.根据权利要求3所述的掩模制造设备，其中，

所述头部组件包括设置在所述头部框架与所述多个工具之间的拉张驱动器，并且

当所述多个工具吸附所述第N单体掩模时，所述拉张驱动器使所述多个工具在与所述第N单体掩模的上表面平行的方向上移动并且拉张所述第N单体掩模。

5.根据权利要求2所述的掩模制造设备，其中，

所述至少一个工具包括多个工具，并且所述多个工具均包括下表面，并且

所述多个工具中的每个下表面吸附所述第N单体掩模的所述第一边缘区域或所述第二边缘区域的上表面。

6.根据权利要求5所述的掩模制造设备，其中，所述多个工具使用电磁力、静电力和真空吸力中的一种来吸附所述多个单体掩模。

7.根据权利要求5所述的掩模制造设备，其中，所述多个工具包括相对于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面以一定角度倾斜的接触表面。

8.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述第一处理模块包括：

第一激光照射器，照射所述第一激光束；以及

第一激光驱动器，连接到所述第一激光照射器，以使所述第一激光照射器在所述第一方向、所述第二方向或第三方向上移动，所述第三方向与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面垂直。

9.根据权利要求8所述的掩模制造设备，其中，所述第一处理模块设置在包括在所述第一台中的开口中。

10.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述第一激光束使所述第N单体掩模的所述第一边缘区域的一部分和所述掩模框架的所述边界部分的一部分熔化，以使所述第N单体掩模固定到所述掩模框架。

11.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，

所述第二处理模块包括照射所述第二激光束的第二激光照射器，并且

所述第二激光束将所述第二边缘区域从所述第N单体掩模去除。

12.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述相机模块包括：

基体板；以及

多个相机，设置在所述基体板的下表面上。

13.根据权利要求12所述的掩模制造设备，其中，所述多个相机中的每个包括远心透镜。