[发明专利]一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法

权利要求书

1.一种镀膜载体，其特征在于，包括载体本体和盛放硅片的多个放置部，所述放置部沿所述载板本体纵向和横向均匀分布；

所述放置部包括第一框体和第二框体，所述第一框体设于所述第二框体外侧；

所述第二框体内侧壁上相对设置多个支撑点。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜载体，其特征在于，当所述第二框体内侧4角设置支撑点或对角设置支撑点时，所述第二框体的两个相对内侧壁的距离为Z，所述硅片的边长为A，所述Z≤A-0.2mm。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜载体，其特征在于，当所述第二框体内侧壁上均设置支撑点时，所述相对设置的支撑点的距离为Z1，所述第二框体的两个相对内侧壁的距离为Z2；所述Z1＝Z，所述Z2＞Z。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜载体，其特征在于，所述支撑点为三角形、半圆形或方形。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜载体，其特征在于，所述镀膜载体的材料选用不锈钢、航空铝和钛合金的一种。

6.一种采用如权利要求1-5任一项所述的镀膜载体用于增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将晶体硅片进行制绒、清洗；

(2)利用等离子体化学气相沉积在步骤(1)得到的晶体硅片的正面及背面制备双本征非晶硅层；

(3)在双面本征非晶硅层上制备双面的掺杂非晶硅层；

(4)将步骤(3)中制得的硅片放置于镀膜载体的放置部上，然后在双面的掺杂非晶硅层上制备导电薄膜层和/或掩膜区域；

(5)在导电薄膜层和/或掩膜区域上通过丝网印刷的方式形成金属电极。

7.根据权利要求6所述的一种增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述制绒得到的绒面结构呈金字塔结构的受光面。

8.根据权利要求6所述的一种增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法，其特征在于，步骤(4)中，所述制备导电薄膜层和/或掩膜区域的方法为磁控溅射的方法或反应等离子体沉积法；

所述导电薄膜层于掺杂非晶硅层上的两个面上形成；

所述掩膜区域于掺杂非晶硅层的一个面或两个面上形成。

9.根据权利要求8所述的一种增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法，其特征在于，所述掩膜区域的宽度B＝(A-Z)/2mm；

或，所述掩膜区域分成两个区域，其宽度分别为B1＝(A-Z1)/2mm和B2＝(A-Z2)/2mm。

10.根据权利要求8所述的一种增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法，其特征在于，所述掺杂非晶硅层的一面掺杂P形成N型掺杂非晶硅，另一面掺杂B形成P型掺杂非晶硅。