[发明专利]一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法在审

专利信息
申请号: 202110593840.3 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113611640A 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 黄金;王继磊;杨立友;白焱辉;鲍少娟;杨骥;李莎;贾慧君;郭磊;孔青青 申请(专利权)人: 晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18;H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 赵徐平
地址: 030600 山西省晋中市山西综改*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 载体 利用 增大 异质结 太阳能电池 tco 面积 方法
【说明书】:

发明公开了一种镀膜载体,包括载体本体和盛放硅片的多个放置部,放置部沿载板本体纵向和横向均匀分布;放置部包括第一框体和第二框体,第一框体设于第二框体外侧;第二框体内侧壁上相对设置多个支撑点;并公开增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法:(1)将晶体硅片进行制绒、清洗;(2)在晶体硅片的正面制备双本征非晶硅层,然后制备双掺杂非晶硅层;(3)将制备后的双掺杂非晶硅层的硅片放置于镀膜载体的放置部上,然后分别在双掺杂非晶硅层上制备得到导电薄膜层和掩膜区域;(4)在导电薄膜层上通过丝网印刷的方式形成金属电极。采用本发明中的镀膜载体,应用到后续的镀膜方法中能够增大TCO镀膜面积。

技术领域

本发明涉及太阳能技术领域,更具体的说是涉及一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法。

背景技术

目前,随着太阳能电池技术的发展,高效电池的开发越来越受重视。其中用非晶硅本征层(a-Si:H(i))钝化的硅基异质结太阳电池(HJT电池)是重点的研究方向之一。众所周知,硅基异质结太阳电池不仅有高的转化效率、高的开路电压,而且具有低的温度系数、无光致衰减(LID)、无电致衰减(PID)、低的制备工艺温度、工艺流程短等优势。另外硅基异质结电池在保证高转化效率的同时,硅片厚度可减薄至100μm,有效减少了硅料耗量,并可用来制备可弯曲电池组件。

然而,现有的HJT电池中非晶硅的导电性不佳,在表面需覆盖透明导电薄膜是常用的手段,目前透明导电薄膜的种类很多包括In2O3、SnO2、ZnO、 In2O3:Sn(ITO)、In2O3:Mo(IMO)、In2O3:W(IWO)、SnO2:Sb(ATO)、SnO2:F(FTO)、 ZnO:Al(ZnO)、ZnO·SnO2、ZnO·In2O3、CdSb2O6、MgIn2O4、In4Sn3O12、Zn2In2O5、 CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4、GaInO3等;由于HJT电池的双面性特征,正背面同时具有非晶硅层,在非晶硅层表面形成的导电薄膜层掩膜区域过大,这里所指的掩膜区域为在镀非晶硅层的表面上未覆盖导电层的部分,相比于窄掩膜电池片,掩膜区域过大会造成效率上的损失。

目前,形成的导电薄膜层表面为单面存在或者双面存在掩膜区域,通过在沉积薄膜的载具支撑硅片的周边加工形成凹槽,起到呈放硅片基体并形成掩膜区的作用,掩膜区域距硅片边缘横向距离很难小于0.8mm,这主要取决于以下三个因素,一是加工精度很难将支撑的凹槽载边加工的过于窄小;二是自动化机械放片精度不足及传输过程中振动,支撑的凹槽载边过小后容易造成掩膜偏离中心位置造成掩膜偏移,即硅片上未覆盖导电层区域无法形成对称,三是支撑的凹槽载边过小后镀膜时容易造成绕镀,正背面形成短接。

因此,如何提供一种能够改善导电层的性能进一步提高HJT电池的量产效率,加速大面积产业化进程的增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此,本发明提供了一种能够改善导电层的性能进一步提高HJT电池的量产效率,加速大面积产业化进程的增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法。

为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:一种镀膜载体,包括载体本体和盛放硅片的多个放置部,所述放置部沿所述载板本体纵向和横向均匀分布;

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