[发明专利]一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法在审
申请号: | 202110593840.3 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113611640A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 黄金;王继磊;杨立友;白焱辉;鲍少娟;杨骥;李莎;贾慧君;郭磊;孔青青 | 申请(专利权)人: | 晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18;H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 赵徐平 |
地址: | 030600 山西省晋中市山西综改*** | 国省代码: | 山西;14 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 载体 利用 增大 异质结 太阳能电池 tco 面积 方法 | ||
本发明公开了一种镀膜载体,包括载体本体和盛放硅片的多个放置部,放置部沿载板本体纵向和横向均匀分布;放置部包括第一框体和第二框体,第一框体设于第二框体外侧;第二框体内侧壁上相对设置多个支撑点;并公开增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法:(1)将晶体硅片进行制绒、清洗;(2)在晶体硅片的正面制备双本征非晶硅层,然后制备双掺杂非晶硅层;(3)将制备后的双掺杂非晶硅层的硅片放置于镀膜载体的放置部上,然后分别在双掺杂非晶硅层上制备得到导电薄膜层和掩膜区域;(4)在导电薄膜层上通过丝网印刷的方式形成金属电极。采用本发明中的镀膜载体,应用到后续的镀膜方法中能够增大TCO镀膜面积。
技术领域
本发明涉及太阳能技术领域,更具体的说是涉及一种镀膜载体和利用其增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法。
背景技术
目前,随着太阳能电池技术的发展,高效电池的开发越来越受重视。其中用非晶硅本征层(a-Si:H(i))钝化的硅基异质结太阳电池(HJT电池)是重点的研究方向之一。众所周知,硅基异质结太阳电池不仅有高的转化效率、高的开路电压,而且具有低的温度系数、无光致衰减(LID)、无电致衰减(PID)、低的制备工艺温度、工艺流程短等优势。另外硅基异质结电池在保证高转化效率的同时,硅片厚度可减薄至100μm,有效减少了硅料耗量,并可用来制备可弯曲电池组件。
然而,现有的HJT电池中非晶硅的导电性不佳,在表面需覆盖透明导电薄膜是常用的手段,目前透明导电薄膜的种类很多包括In2O3、SnO2、ZnO、 In2O3:Sn(ITO)、In2O3:Mo(IMO)、In2O3:W(IWO)、SnO2:Sb(ATO)、SnO2:F(FTO)、 ZnO:Al(ZnO)、ZnO·SnO2、ZnO·In2O3、CdSb2O6、MgIn2O4、In4Sn3O12、Zn2In2O5、 CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4、GaInO3等;由于HJT电池的双面性特征,正背面同时具有非晶硅层,在非晶硅层表面形成的导电薄膜层掩膜区域过大,这里所指的掩膜区域为在镀非晶硅层的表面上未覆盖导电层的部分,相比于窄掩膜电池片,掩膜区域过大会造成效率上的损失。
目前,形成的导电薄膜层表面为单面存在或者双面存在掩膜区域,通过在沉积薄膜的载具支撑硅片的周边加工形成凹槽,起到呈放硅片基体并形成掩膜区的作用,掩膜区域距硅片边缘横向距离很难小于0.8mm,这主要取决于以下三个因素,一是加工精度很难将支撑的凹槽载边加工的过于窄小;二是自动化机械放片精度不足及传输过程中振动,支撑的凹槽载边过小后容易造成掩膜偏离中心位置造成掩膜偏移,即硅片上未覆盖导电层区域无法形成对称,三是支撑的凹槽载边过小后镀膜时容易造成绕镀,正背面形成短接。
因此,如何提供一种能够改善导电层的性能进一步提高HJT电池的量产效率,加速大面积产业化进程的增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法是本领域技术人员亟需解决的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种能够改善导电层的性能进一步提高HJT电池的量产效率,加速大面积产业化进程的增大异质结太阳能电池TCO镀膜面积的方法。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:一种镀膜载体,包括载体本体和盛放硅片的多个放置部,所述放置部沿所述载板本体纵向和横向均匀分布;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司,未经晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110593840.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造