[发明专利]线性位移校正方法及使用线性位移校正方法的检测设备

权利要求书

1.一种线性位移校正方法，其特征在于：

所述方法包括下述步骤：

通过位移传感器量测移动件沿直线方向移动的位移，以获得多个第一量测距离；

通过校正量测装置量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，以获得多个第二量测距离；

根据所述第一量测距离及所述第二量测距离建立相对关系对照表，以使所述第一量测距离分别与所述第二量测距离相对应；及

由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离作为校正距离。

2.根据权利要求1所述的线性位移校正方法，其特征在于：所述校正量测装置包括激光干涉仪。

3.根据权利要求1或2所述的线性位移校正方法，其特征在于：使用查表法由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离。

4.一种线性位移校正方法，其特征在于：

所述方法包括下述步骤：

通过驱动机构驱动移动件沿直线方向移动；

通过位移传感器量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，通过校正量测装置量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，通过运算处理模块接收所述位移传感器所反馈的电子信号以运算出多个第一量测距离，以及接收所述校正量测装置所反馈的电子信号以运算出多个第二量测距离；

所述运算处理模块根据所述第一量测距离及所述第二量测距离建立相对关系对照表，以使所述第一量测距离分别与所述第二量测距离相对应；及

所述运算处理模块由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离作为校正距离。

5.根据权利要求4所述的线性位移校正方法，其特征在于：所述校正量测装置包括激光干涉仪，所述位移传感器包括线性编码器。

6.根据权利要求4或5所述的线性位移校正方法，其特征在于：所述运算处理模块使用查表法由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离。

7.一种检测设备，其特征在于：

所述检测设备包括移动件、驱动机构、位移传感器、校正量测装置及运算处理模块，所述驱动机构用以驱动所述移动件沿直线方向移动，所述位移传感器用以量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，所述校正量测装置用以量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，所述运算处理模块电连接于所述位移传感器及所述校正量测装置，所述运算处理模块用以接收所述位移传感器所反馈的电子信号以运算出多个第一量测距离，以及用以接收所述校正量测装置所反馈的电子信号以运算出多个第二量测距离，所述运算处理模块根据所述第一量测距离及所述第二量测距离建立相对关系对照表。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于：所述位移传感器包括线性编码器，所述校正量测装置包括激光干涉仪。

9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于：所述校正量测装置包括沿所述直线方向相间隔排列的校正光束收发模块、第一光学模块及第二光学模块，所述第二光学模块设置在所述移动件上并能被所述移动件带动而相对于所述校正光束收发模块及所述第一光学模块移动。

10.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于：所述校正量测装置包括沿所述直线方向相间隔排列的校正光束收发模块、第一光学模块及第二光学模块，所述第一光学模块设置在所述移动件上并能被所述移动件带动而相对于所述校正光束收发模块及所述第二光学模块移动。

11.根据权利要求7至10中任一权利要求所述的检测设备，其特征在于：所述检测设备还包括电连接于所述运算处理模块的图像处理模块，所述运算处理模块能使用查表法由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离，作为用以输入至所述图像处理模块的运算参数。