[发明专利]线性位移校正方法及使用线性位移校正方法的检测设备

说明书

一种线性位移校正方法，包括下述步骤：通过位移传感器量测移动件沿直线方向移动的位移，以获得多个第一量测距离，通过校正量测装置量测移动件沿直线方向移动的位移，以获得多个第二量测距离；根据第一量测距离及第二量测距离建立相对关系对照表，以使第一量测距离分别与第二量测距离相对应；及由相对关系对照表中获得各第一量测距离所对应的第二量测距离作为校正距离。因此，能提升校正的速度及效率。本发明还提供使用上述线性位移校正方法的检测设备。

技术领域

本发明涉及一种线性位移校正方法，特别是涉及一种用以校正移动件线性位移大小的线性位移校正方法及使用线性位移校正方法的检测设备。

背景技术

现有光学检测设备通过一驱动机构驱动一载台直线移动，使得载台能带动所承载的一待测物通过一光学摄像机，以供光学摄像机获取待测物的图像。光学检测设备还会通过一线性编码器的一读取头读取一光学尺的刻度并反馈至一控制器，使控制器依据刻度控制驱动机构驱动载台移动的速度及行程。

然而，驱动机构的细部元件之间的组装公差、驱动机构与载台之间的组装公差、读取头与光学尺之间的组装公差，或者是光学尺的多个刻度之间的公差等皆会影响线性编码器量测载台移动距离的准确性，使得控制器驱动载台移动的速度会产生过慢或过快的情形，从而导致光学摄像机获取到的待测物图像产生形变，在后续要进行拼接时，会造成图像失真甚至是无法拼接等问题。

发明内容

因此，本发明的一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的线性位移校正方法。

本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的线性位移校正方法包括下述步骤：

通过位移传感器量测移动件沿直线方向移动的位移，以获得多个第一量测距离；

通过校正量测装置量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，以获得多个第二量测距离；

根据所述第一量测距离及所述第二量测距离建立相对关系对照表，以使所述第一量测距离分别与所述第二量测距离相对应；及

由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离作为校正距离。

根据前述的线性位移校正方法，其中，所述校正量测装置包括激光干涉仪。

根据前述的线性位移校正方法，其中，所述线性位移校正方法使用查表法由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离。

本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的线性位移校正方法包括下述步骤：

通过驱动机构驱动移动件沿直线方向移动；

通过位移传感器量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，通过校正量测装置量测所述移动件沿所述直线方向移动的位移，通过运算处理模块接收所述位移传感器所反馈的电子信号以运算出多个第一量测距离，以及接收所述校正量测装置所反馈的电子信号以运算出多个第二量测距离；

所述运算处理模块根据所述第一量测距离及所述第二量测距离建立相对关系对照表，以使所述第一量测距离分别与所述第二量测距离相对应；及

所述运算处理模块由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离作为校正距离。

根据前述的线性位移校正方法，其中，所述校正量测装置包括激光干涉仪，所述位移传感器包括线性编码器。

根据前述的线性位移校正方法，其中，所述运算处理模块使用查表法由所述相对关系对照表中获得各所述第一量测距离所对应的所述第二量测距离。

本发明的一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的检测设备。