[发明专利]阵列基板、阵列基板的加工工艺及显示面板

权利要求书

1.一种阵列基板的加工工艺，其特征在于，所述阵列基板的加工工艺包括：

形成自下而上依次叠层的金属层、第一绝缘层、第二绝缘层及平坦层；

将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角；

所述光罩具有透光区和围绕所述透光区的透光缝，在所述采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成所述通孔时，通过所述透光区形成所述通孔，通过所述透光缝形成所述第二侧壁；

其中，所述光罩的透光区设置为具有第一边缘和连接所述第一边缘的连接边缘，所述第一边缘用于在所述平坦层上被显影形成所述第一侧壁；所述透光缝设置为具有第一透光缝，所述第一透光缝与所述透光区的连接边缘间隔设置，且所述第一透光缝设于所述连接边缘的外侧；

或者，所述透光缝设置为具有多个第二透光缝，多个所述第二透光缝依次排列于所述连接边缘的外周；所述第二透光缝的一端与所述透光区连接，另一端朝远离所述透光区的一端延伸。

2.如权利要求1所述的阵列基板的加工工艺，其特征在于，所述将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，通过所述透光区形成所述通孔的所述第一侧壁，通过所述透光缝形成所述通孔的第二侧壁的步骤之后，还包括：

在所述平坦层背离所述基板的一侧、并由靠近所述第二侧壁处开始涂布配向液，以形成配向膜。

3.一种阵列基板，采用如权利要求1或2所述的阵列基板的加工工艺制作，其特征在于，所述阵列基板具有相邻设置的像素显示区和像素非显示区；在所述像素非显示区，所述阵列基板包括：

基板；和

平坦层，所述平坦层设于所述基板的一侧，所述平坦层具有通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角。

4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第二侧壁包括：

连接子侧壁，所述连接子侧壁的一边缘与所述第一侧壁连接，另一边缘朝远离所述像素显示区的方向延伸；和

对应子侧壁，所述对应子侧壁与所述连接子侧壁连接，并与所述第一侧壁相对设置；

所述连接子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角；和/或，所述对应子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角。

5.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一侧壁和所述第二侧壁的壁面均呈平滑状态。

6.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第二侧壁与所述基板的夹角为α，22°≤α≤38°。

7.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述通孔的开口形状为矩形或者圆形。

8.一种显示面板，其特征在于，包括彩膜基板、液晶及如权利要求3至7中任意一项所述的阵列基板；所述彩膜基板设于所述平坦层背离所述基板的一侧，所述液晶设于所述平坦层与所述彩膜基板之间。