[发明专利]一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置

权利要求书

1.一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，包括转动装置(1)，其特征在于：所述转动装置(1)的右侧设置有测试装置(2)，所述测试装置(2)的右侧设置有推出装置(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述转动装置(1)包括动力轮(11)，所述动力轮(11)的表面转动连接有固定齿轮(12)，所述动力轮(11)的表面固定连接有转动架(13)，所述转动架(13)的后侧转动连接有传动轴(14)，所述传动轴(14)的两端固定连接有传动齿轮(15)，所述转动架(13)的右端转动连接有配合齿轮(16)，所述配合齿轮(16)的表面固定连接有托盘(17)，所述托盘(17)的表面设置有夹持架(18)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述动力轮(11)与外部电机连接，固定齿轮(12)固定并与动力轮(11)转动连接且共圆心；所述转动架(13)有三个，转动架(13)的一端与动力轮(11)固定连接，且在动力轮(11)的径向上，且三个转动架(13)之间的角度相等。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述传动轴(14)有三个，分别设置在三个转动架(13)上，并分别与它们平行且转动连接，所述传动齿轮(15)有六个，每个传动轴(14)的两端分别固定连接有两个传动齿轮(15)，其中靠近固定齿轮(12)的一端的传动齿轮(15)与之啮合。

5.根据权利要求2所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述配合齿轮(16)有三个，分别转动连接在三个转动架(13)的远离动力轮(11)的一端，并与这一端的传动齿轮(15)啮合；所述托盘(17)和夹持架(18)分别有三个，三个托盘(17)分别与三个配合齿轮(16)固定连接且共圆心，三个夹持架(18)分别设置在三个托盘(17)上，且方向与水平线垂直。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述测试装置(2)包括右测试块(21)，所述右测试块(21)的左侧表面设置有正极触点(22)，所述右测试块(21)的表面固定连接有连接杆(23)，所述连接杆(23)的左端固定连接有左测试块(24)，所述左测试块(24)的右侧表面设置有负极触点(25)。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述右测试块(21)固定并与水平线垂直，正极触点(22)与外部电源的正极电连接，所述连接杆(23)与水平线平行，左测试块(24)与右测试块(21)正对，负极触点(25)与正极触点(22)正对。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述推出装置(3)包括转动臂(31)，所述转动臂(31)的表面固定连接有限位扇形块(32)，所述限位扇形块(32)的表面设置有触动按钮(33)，所述限位扇形块(32)的右侧设置有转动轮(34)，所述转动轮(34)的表面固定连接有转动推杆(35)，所述转动轮(34)的表面固定连接有间歇轮(36)。

9.根据权利要求6或8所述的一种用于半导体二极管制造过程中击穿电压检测装置，其特征在于：所述转动臂(31)有两个，两个转动臂(31)的一端固定连接，且连接位置与外部电机铰接，该外部电机与负极触点(25)电连接，转动臂(31)转动过程中带动间歇轮(36)间歇转动；所述限位扇形块(32)与两个转动臂(31)固定连接的一端固定连接，限位扇形块(32)的转动轨迹与间歇轮(36)接触，接触时限制间歇轮(36)转动；所述转动推杆(35)有两个，两个转动推杆(35)关于转动轮(34)中心对称，转动推杆(35)的远离转动臂(31)的一端的转动轨迹经过右测试块(21)和左测试块(24)之间。