[发明专利]一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

权利要求书

1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于：包括挂载架（1），所述挂载架（1）内设有离心组件（3），所述挂载架（1）的外侧套设有清洗组件（2），所述挂载架（1）的两端安装有抵板（7），所述离心组件（3）包括旋转轴（14），所述旋转轴（14）的两端分别与两个所述抵板（7）转动连接，其中一个所述抵板（7）上安装有驱动电机（15），所述驱动电机（15）与所述旋转轴（14）驱动连接，所述旋转轴（14）上设有移动块（17），所述移动块（17）上安装有卡合机构（19）；

所述清洗组件（2）包括环筒（4），所述环筒（4）内部依次通过隔板（26）被分割为超声区、液体清洗区和干燥区；

所述卡合机构（19）包括安装架（21），所述安装架（21）后侧安装有横杆（20），所述横杆（20）与所述移动块（17）固定连接，所述安装架（21）的上方设有阳极夹槽（35），所述安装架（21）的下方设有阴极夹槽（36），所述安装架（21）的两侧安装有竖槽（27），其中一个所述竖槽（27）与设置在所述安装架（21）内部的气缸活塞端（23）固定连接，所述竖槽（27）的两侧设有卡块（22）；

所述移动块（17）套设在所述旋转轴（14）上，且所述旋转轴（14）上设有齿槽（16），所述移动块（17）内设有与所述齿槽（16）配合使用的齿轮（18），所述移动块（17）内设有所述齿轮（18）的齿轮驱动电机。

2.根据权利要求1所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述超声区的上半部分均布有超声装置（30），所述液体清洗区的上半部分内壁上均布有喷孔（12）且所述上半部分内壁内设有与所述喷孔（12）连通的清洗液半腔（10），所述清洗液半腔（10）与外侧的清洗液注入腔（13）连通，所述清洗液注入腔（13）分别与第一进液管（6）、第二进液管（24）连通，所述干燥区的上半部分内壁内设有气体半腔（33）且内壁内侧均布有出风口（34），所述气体半腔（33）与上方的气体注入腔（32）连通，所述气体注入腔（32）与进气管（5）连通。

3.根据权利要求2所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述第一进液管（6）和所述第二进液管（24）上设有开合阀（28），所述环筒（4）的底部内设有底部液体收集腔（11）且内壁上方设有与所述底部液体收集腔（11）连通的回流孔（29），所述底部液体收集腔（11）与下方的液体回流腔（31）连通，所述液体回流腔（31）与出料管（25）连通。

4.根据权利要求2所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述超声区、所述液体清洗区和所述干燥区的上半部分都设有激光传感器（9）。

5.一种掩膜版清洗方法，根据权利要求3中所述的掩膜版清洗装置，其特征在于，包括以下步骤：

步骤（1）：将掩膜版放置在安装架内，并控制气缸活塞端将掩膜版压紧固定；

步骤（2） ：在阳极夹槽和阴极夹槽上通上电压，通过电流使得掩膜版上的废料产生热量，使得废料融化掉落或者变硬变脆；

步骤（3）：控制移动块向清洗组件内移动，并打开超声装置进行超声震荡，清除融化掉落或者变硬变脆的废料；

步骤（4）：再控制移动块继续移动，打开开合阀，使用配置好的清洗溶剂通过喷孔喷向掩膜版，在清洗过程中，需要通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤（5）：清洗完毕后，再控制移动块将掩膜版移动到超声区进行超声震荡清洗；

步骤（6）：再将掩膜版移动到液体清洗区进行再次清洗，同时通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤（7）：通过移动块将掩膜版移动到干燥区内通过进气管（5）进风后对掩膜版干燥吹风，最后将掩膜版移动到初始位置后取下。

6.根据权利要求5所述的掩膜版清洗方法，其特征在于，所述步骤（7）中的进气管（5）与外部的进气泵连接，且进入的气体是经过干燥加热处理的。