[发明专利]一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

说明书

本发明提供一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，挂载架内设有离心组件，挂载架的外侧套设有清洗组件，挂载架的两端安装有抵板，离心组件包括旋转轴，旋转轴的两端分别与两个抵板转动连接，其中一个抵板上安装有驱动电机，驱动电机与旋转轴驱动连接，旋转轴上设有移动块，移动块上安装有卡合机构，通过设置的离心组件和环筒的配合，以达到利用旋转来促使掩膜版均匀多角度的受到水流的冲洗效果，并能实现自动化自清洗效果，降低人力成本，本发明通过设置的环筒内的多个区间，以达到利用层层递进的方式来进行对掩膜版的清洗，从而使得其上附着的杂质可以更好的脱离其表面，在清洗完毕后进行超声震荡烘干处理，防止水渍未干导致重新附着新的杂质。

技术领域

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版清洗装置及其清洗方法。

背景技术

OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示装置时普遍采用蒸镀技术，其中金属掩膜版(Metal Mask，简称Mask)在整个OLED显示装置生产工艺中扮演着极其重要的角色。在蒸镀过程中，蒸镀材料会沉积到Mask上，且随着蒸镀次数和时间的增加，Mask上沉积的蒸镀材料会越来越厚，进而影响金属掩膜版的尺寸精度，导致各种蒸镀不良。因此，当Mask使用一段时间后需要对其进行清洗，从而保证蒸镀效果。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可通过离心力配合水流冲洗的掩膜版清洗装置及其清洗方法。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，所述挂载架内设有离心组件，所述挂载架的外侧套设有清洗组件，所述挂载架的两端安装有抵板，所述离心组件包括旋转轴，所述旋转轴的两端分别与两个所述抵板转动连接，其中一个所述抵板上安装有驱动电机，所述驱动电机与所述旋转轴驱动连接，所述旋转轴上设有移动块，所述移动块上安装有卡合机构。

进一步的，所述清洗组件包括环筒，所述环筒内部依次通过隔板被分割为超声区、液体清洗区和干燥区，所述超声区的上半部分均布有超声装置，所述液体清洗区的上半部分内壁上均布有喷孔且所述上半部分内壁内设有与所述喷孔连通的清洗液半腔，所述清洗液半腔与外侧的清洗液注入腔连通，所述清洗液注入腔分别与第一进液管、第二进液管连通，所述干燥区的上半部分内壁内设有气体半腔且内壁内侧均布有出风口，所述气体半腔与上方的气体注入腔连通，所述气体注入腔与所述进气管连通。

进一步的，所述第一进液管和所述第二进液管上设有开合阀，所述环筒的底部内设有底部液体收集腔且内壁上方设有与所述底部液体收集腔连通的回流孔，所述底部液体收集腔与下方的液体回流腔连通，所述液体回流腔与出料管连通。

进一步的，所述卡合机构包括安装架，所述安装架后侧安装有横杆，所述横杆与所述移动块固定连接，所述安装架的上方设有阳极夹槽，所述安装架的下方设有阴极夹槽，所述安装架的两侧安装有竖槽，其中一个所述竖槽与设置在所述安装架内部的气缸活塞端固定连接，所述竖槽的两侧设有卡块。

进一步的，所述移动块套设在所述旋转轴上，且所述旋转轴上设有齿槽，所述移动块内设有与所述齿槽配合使用的齿轮，所述移动块内设有所述齿轮的齿轮驱动电机。

进一步的，所述超声区、所述液体清洗区和所述干燥区的上半部分都设有激光传感器。

一种掩膜版清洗方法，包括以下步骤：

步骤(1)：将掩膜版放置在安装架内，并控制气缸活塞端将掩膜版压紧固定；

步骤(2)：在阳极夹槽和阴极夹槽上通上电压，通过电流使得掩膜版上的废料产生热量，使得废料融化掉落或者变硬变脆；

步骤(3)：控制移动块向清洗组件内移动，并打开超声装置进行超声震荡，清除融化掉落或者变硬变脆的废料；