[发明专利]晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种晶圆图文件生成方法，其特征在于，应用于中转设备中，所述中转设备分别与探针台和测试设备连接，所述方法包括：

接收所述探针台发送的第一测试指令，所述第一测试指令包括晶圆上待测试的第一芯片的位置信息；

根据所述第一测试指令，向所述测试设备发送第二测试指令，所述第二测试指令用于指示所述测试设备对所述第一芯片进行测试；

接收所述测试设备发送的第一测试响应指令，所述第一测试响应指令包括所述第一芯片的测试结果；

根据所述第一测试指令和所述第一测试响应指令，生成预设文件规则的晶圆图文件，所述晶圆图文件包括所述第一芯片的位置信息和测试结果。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一测试指令的指令格式为所述探针台支持的第一指令格式；

所述根据所述第一测试指令，向所述测试设备发送第二测试指令，包括：

确定所述测试设备支持的第二指令格式；

若所述第一指令格式与所述第二指令格式相同，则将所述第一测试指令作为所述第二测试指令发送给所述测试设备；

若所述第一指令格式与所述第二指令格式不同，则将所述第一测试指令转换为所述第二指令格式的第二测试指令，将所述第二测试指令作为所述第二测试指令发送给所述测试设备。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一测试指令和所述第一测试响应指令，生成预设文件规则的晶圆图文件，包括：

若当前还未创建所述预设文件规则的晶圆图文件，则创建所述预设文件规则的晶圆图文件；从所述第一测试指令中提取第一信息，以及从所述第一测试响应指令中提取第二信息，所述第一信息包括所述第一芯片的位置信息，所述第二信息包括所述第一芯片的测试结果；根据所述预设文件规则将所述第一信息和所述第二信息添加至所述晶圆图文件中；

若当前已创建所述预设文件规则的晶圆图文件，则从所述第一测试指令中提取第一信息，以及从所述第一测试响应指令中提取第二信息；根据所述预设文件规则将所述第一信息和所述第二信息添加至所述晶圆图文件中。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收所述测试设备发送的第一测试响应指令之后，所述方法还包括：

生成第二测试响应指令，所述第二测试响应指令用于指示所述第一芯片测试完成；

向所述探针台发送所述第二测试响应指令。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述探针台支持第一指令格式，所述第一测试响应指令的指令格式为所述测试设备支持的第二指令格式；

所述生成第二测试响应指令，包括：

若所述第一指令格式与所述第二指令格式相同，则将所述第一测试响应指令确定为所述第二测试响应指令；

若所述第一指令格式与所述第二指令格式不同，则将所述第一测试响应指令转换为所述第一指令格式的第二测试响应指令。

6.根据权利要求1-5任一所述的方法，其特征在于，

所述中转设备与所述探针台之间采用第一通信协议进行通信；

所述中转设备与所述测试设备之间采用第二通信协议进行通信；

其中，所述第一通信协议与所述第二通信协议相同或不同。

7.根据权利要求1-5任一所述的方法，其特征在于，所述接收所述探针台发送的第一测试指令之后，还包括：

根据所述第一测试指令，确定所述第一芯片的起始测试时间，所述起始测试时间为所述第一测试指令的接收时间或者所述第一测试指令包括的第一时间；

所述接收所述测试设备发送的第一测试响应指令之后，还包括：

根据所述第一测试响应指令，确定所述第一芯片的截止测试时间，所述截止测试时间为所述第一测试响应指令的接收时间或者所述第一测试响应指令包括的第二时间；

所述根据所述第一测试指令和所述第一测试响应指令，生成预设文件规则的晶圆图文件，包括：

根据所述第一测试指令、所述第一测试响应指令、以及所述第一芯片的起始测试时间和截止测试时间，生成所述预设文件规则的晶圆图文件。