[发明专利]一种球面镜窄带滤光片及其制备方法在审
申请号: | 202110606474.0 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113484946A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 陆张武;柴建龙;王迎;李恭剑 | 申请(专利权)人: | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/10;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/10 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 张海兵 |
地址: | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 球面镜 窄带 滤光 及其 制备 方法 | ||
本发明属于镀膜技术领域,具体涉及一种球面镜窄带滤光片及其制备方法,包括球面镜基底、设于球面镜基底一侧的窄带通膜系、设于球面镜基底另一侧的长波通膜系;所述长波通膜系包括从内往外逐层交替沉积的低折射率膜层和高折射率膜层,以及作为低折射率膜层的最外层;所述窄带通膜系包括从内往外逐层交替沉积的高折射率膜层和低折射率膜层。提供了一种947nm透过球面镜窄带滤光片,所述滤光片达到优良技术指标:在入射角为0°时,900‑930nm光谱波段具有高透过率,887nm950nm处的透过率小于10%,890nm940nm处的透过率小于50%,在200nm‑870nm、965‑1050nm光谱波段截止,截止区域内最大透过率<1%,入射角为0°和22°是曲线偏移小于8nm的球面镜窄带滤光片。
技术领域
本发明属于镀膜技术领域,涉及一种滤光片及其制备方法, 特别是一种球面镜窄带滤光片及其制备方法。
背景技术
目前手机等电子产品的摄像头接收器模组中,亟需一种满足 以下要求的滤光片:
(1)入射角为0°时,在900-930nm谱段具有高透过率;
(2)入射角为0°时,在200nm-870nm谱段、965-1050nm谱 段具有抑制光信号通过的作用,
(3)在入射角为0°时,887nm950nm处的透过率小于10%, 890nm940nm处的透过率小于50%;
(4)入射角为0°和22°时,曲线偏移小于8nm
(5)产品外形为球面镜,实现滤光膜特性与球面镜特性的完 美结合,增大了滤光片的实用性;
(6)在低温(-40℃)、高温(+85℃)、高湿(90%)及冷热 循环变化的环境长时间放置后仍然可以使用。
(7)基底厚度小(≤0.3mm),以满足模组整体结构的微型化 要求。
(8)在轻微外力反复摩擦(压力5N)下,膜层无损伤。
(9)在酒精乙醚混合液(酒精:乙醚=1:2)轻微反复擦拭下, 膜层无损伤。
(10)在高温纯水(95℃)里浸泡2小时以上,拉膜(使 用CT-18胶带)后膜层无脱落。
在先发明申请CN201910165758.3公开了滤光片及其制备方 法,并具体公开了滤光片包括透明基底以及分别设置在所述透明 基底两侧的第一长波通膜系和第二长波通膜系;所述第一长波通 膜系和所述第二长波通膜系均包括交替叠加的高折射率膜层和低 折射率膜层。该发明仅得到830-950nm透过近红外滤光片,且基 底外形为平行平板,而无法得到满足上述要求的滤光片。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术问题,提出了一种球面镜 窄带滤光片及其制备方法,在入射角为0°时,900-930nm光谱波 段具有高透过率,887nm950nm处的透过率小于10%, 890nm940nm处的透过率小于50%,在200nm-870nm、 965-1050nm光谱波段截止,入射角为0°和22°是曲线偏移小于 8nm。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现:
一种球面镜窄带滤光片,包括球面镜基底、设于球面镜基底 一侧的窄带通膜系、设于球面镜基底另一侧的长波通膜系;所述 长波通膜系包括从内往外逐层交替沉积的低折射率膜层和高折射 率膜层,以及作为低折射率膜层的最外层;所述窄带通膜系包括 从内往外逐层交替沉积的高折射率膜层和低折射率膜层。
进一步地,所述窄带通膜系的结构为(HL2HLHL)^5,中心波 长为915nm;H为一个基本厚度的高折射率膜层,L为一个基本厚 度的低折射率膜层;(HL2HLHL)^5中的5为基本膜堆(HL2HLHL) 的周期数。
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