[发明专利]微调蘸胶装置及芯片封装方法在审
申请号: | 202110607458.3 | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN115430563A | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 葛沈浩 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;钱塘科技创新中心 |
主分类号: | B05C1/02 | 分类号: | B05C1/02;B05C11/00;H01L21/56 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
地址: | 314006 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微调 装置 芯片 封装 方法 | ||
1.一种微调蘸胶装置,其特征在于,包括蘸胶套(10)、针头座(20)以及蘸针(30),所述针头座(20)连接于所述蘸胶套(10)的一端,所述针头座(20)上设有多个用于安装所述蘸针(30)的插针孔(21),所述针头座(20)上至少有一个所述插针孔(21)内安装有所述蘸针(30),所述蘸针(30)远离所述针头座(20)的一端为锥形结构。
2.根据权利要求1所述的微调蘸胶装置,其特征在于,所述蘸胶套(10)包括连接部(11)和套装部(12),所述连接部(11)的一端与所述套装部(12)的一端连接,所述连接部(11)的另一端用于与蘸胶设备连接,所述套装部(12)的另一端设有安装孔(121),所述针头座(20)安装于所述安装孔(121)内。
3.根据权利要求2所述的微调蘸胶装置,其特征在于,所述连接部(11)远离所述套装部(12)的一端设有卡槽(111),所述连接部(11)通过所述卡槽(111)与所述蘸胶设备卡接。
4.根据权利要求2所述的微调蘸胶装置,其特征在于,所述连接部(11)的直径为3.5-4.5mm之间,所述连接部(11)的长度为19-21mm之间,所述安装孔(121)的孔径为9-11mm,所述套装部(12)的长度为9-11mm之间,所述针头座(20)的外径小于所述安装孔(121)的孔径且两者差值在0.04-0.06mm之间。
5.根据权利要求1所述的微调蘸胶装置,其特征在于,多个所述插针孔(21)呈阵列排布或米字形排布。
6.根据权利要求1所述的微调蘸胶装置,其特征在于,所述蘸针(30)和所述插针孔(21)的直径在0.45-0.55mm之间,所述蘸针(30)超出所述针头座(20)端面的长度为4.5-5.5mm之间。
7.一种芯片封装方法,其特征在于,所述封装方法包括:
提供半导体晶圆,并将所述半导体晶圆进行减薄处理;
对减薄后的所述半导体晶圆进行切割并形成芯片(50);
提供电路基板(40)和粘接胶,通过如权利要求1-6任一项所述的微调蘸胶装置对所述电路基板(40)进行蘸胶;
将所述芯片(50)贴装至蘸胶后的所述电路基板(40)上,并对粘接胶进行高温固化处理;
将所述芯片(50)与所述电路基板(40)进行电性连接。
8.根据权利要求7所述的芯片封装方法,其特征在于,在对所述电路基板(40)进行蘸胶之前,还包括:根据所述芯片(50)的大小和厚度计算出蘸胶的胶量;根据所述胶量设置蘸针(30)的数量、设置所述蘸针(30)的针尖大小、调节所述蘸针(30)与所述电路基板(40)之间的距离以及调节所述蘸针(30)在所述电路基板(40)停留的时间。
9.根据权利要求7所述的芯片封装方法,其特征在于,所述电路基板(40)上设有与所述芯片(50)对应的垫高结构(41),所述垫高结构(41)用于限制所述芯片(50)与所述电路基板(40)之间的间距。
10.根据权利要求7所述的芯片封装方法,其特征在于,所述封装方法还包括:提供封装胶,将所述封装胶涂布至所述电路基板(40)上并覆盖住所述芯片(50),然后对所述封装胶进行烘烤固化处理。
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