[发明专利]一种芯片封测金线检测装置及其使用方法在审
申请号: | 202110613955.4 | 申请日: | 2021-06-02 |
公开(公告)号: | CN113363186A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 任勇;马观岚 | 申请(专利权)人: | 苏州有道芯量智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 杭州山泰专利代理事务所(普通合伙) 33438 | 代理人: | 周玲 |
地址: | 215300 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封测金线 检测 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种芯片封测金线检测装置,包括高清相机(11),其特征在于,还包括固定结构单元和移动结构单元,所述固定结构单元包括机架(10)、与机架(10)通过螺栓相连设在机架(10)内侧的支撑架(3)、与支撑架(3)通过螺栓固定的垂直基板(4)、与机架(10)通过螺栓相连设在机架(10)外侧的水平基板(7),所述移动结构单元包括与支撑架(3)通过轨道构成水平直线移动的横向滑动板(1)、与垂直基板(4)通过轨道构成垂直直线移动的纵向滑动板(2)、与水平基板(7)通过两侧板面轨道构成直线移动的承载板(5),所述机架(10)上通过铰链连接有上位机(6),所述上位机(6)通过传动部件驱动承载板(5)在Y轴的方向上运动,所述上位机(6)通过传动部件驱动横向滑动板(1)在X轴的方向上运动,所述上位机(6)通过传动部件驱动纵向滑动板(2)在Z轴的方向上运动,所述高清相机(11)固定安装在纵向滑动板(2)上。
2.根据权利要求1所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述上位机(6)内设有图像对比模块和数据库模块,所述图像对比模块将高清相机(11)拍摄的图像与数据库模块内的标准图像进行余弦相似度计算,若余弦相似度达到指定值判定检测合格,若余弦相似度未达到指定值判定检测不合格。
3.根据权利要求2所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述机架(10)内固定安装有第一固定块(13)和第二固定块(20),所述第一固定块(13)内开设有滑动槽(1301),所述滑动槽(1301)内滑动连接有滑动块(14),所述第二固定块(20)一端固定安装有第一中心轴(19),所述第一中心轴(19)上转动安装有摆动杆(18),所述摆动杆(18)一端与滑动块(14)通过连杆(17)转动安装,所述滑动块(14)顶部固定安装有运动板(15),所述运动板(15)上固定安装有多个散热风扇(16),所述机架(10)内设有驱动摆动杆(18)转动的驱动机构。
4.根据权利要求3所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述驱动机构包括驱动电机(24),所述机架(10)内固定安装有驱动电机(24),所述第二固定块(20)另一端转动安装有第二中心轴(21),所述第二中心轴(21)上固定安装有转动块(22),所述转动块(22)的自由端转动安装有移动块(23),所述移动块(23)内开设有凹槽(2301),所述摆动杆(18)在凹槽(2301)内滑动,所述驱动电机(24)的输出轴与第二中心轴(21)传动连接。
5.根据权利要求4所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述第一固定块(13)内开设有与滑动槽(1301)连通的T形槽(1302),所述滑动块(14)两端固定连接有与T形槽(1302)相适配的T形块(25)。
6.根据权利要求5所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述支撑架(3)上侧面板轨道内设有标尺光栅,所述垂直基板(4)左侧面板轨道内设有标尺光栅,所述水平基板(7)左侧面板轨道内设有标尺光栅。
7.根据权利要求6所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述横向滑动板(1)上侧面板处设有光栅读数头,所述纵向滑动板(2)左侧面板处设有光栅读数头,所述承载板(5)左侧面板处设有光栅读数头。
8.根据权利要求7所述一种芯片封测金线检测装置,其特征在于,所述机架(10)上安装有急停按钮(9)和启动按钮(8)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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