[发明专利]一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺在审

专利信息
申请号: 202110617035.X 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN113345812A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 吕健力;黄泽鑫;王永祥;戢利进 申请(专利权)人: 广东新锐流铭光电有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/78;H01L27/15;H01L33/50;H01L33/56
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 苏登
地址: 528400 广东省东莞市长*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 晶圆级无 芯片 衬底 封装 工艺
【说明书】:

目前LED封装主要以单颗形式进行,即将切割后的LED芯片逐颗贴装基板上,如金属支架,引线框、陶瓷基板或金属基板上,然后逐颗进行引线互联、逐颗点胶;由于几乎所有工步都是以单颗进行,生产效率比较低,且生产成本比较高;同时光效不高的问题,这严重制约了LED的应用,而本发明则公开了一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺,具体是采用晶圆级一体化工艺,单次共晶数量可达千数级,能极大降低共晶成本,提高生产效率,其中本发明的主要工艺是以圆片级的方式实现的,因此生产成本更低,而且封装尺寸可以做到更小,更接近LED芯片的尺寸,可以更有效地拓宽LED的应用。

技术领域

本发明涉及LED封装技术领域,尤其涉及一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺。

背景技术

LED具有节能、环保、安全、体积小、寿命长、色彩丰富、性能可靠等显著优点,将成为人造光源史上继爱迪生发明电灯之后最重要的一次革命。传统的LED封装形式,都需要使用导线架,并且需要打线制程。LED封装技术的发展趋势为:不断小型化、持续减少封装使用的材料。晶圆级封装的定义为,封装外形尺寸与芯片相同,或是封装外形尺寸不大于芯片外形尺寸的120%,且功能完整的封装元件。LED封装从过去包含芯片、支架、金线、硅胶、荧光粉开始发展为倒装芯片,省去金线;进一步发展至晶圆级封装,则会将支架、金线全部省去。晶圆级封装不仅可以使LED的热阻最小化,而且能够实现封装的小型化,大幅降低器件的物料成本,被认为是LED封装的必然发展趋势。

目前LED封装主要以单颗形式进行,即将切割后的LED芯片逐颗贴装基板(如金属支架,引线框、陶瓷基板、金属基板)上,然后逐颗进行引线互联、逐颗点胶;由于几乎所有工步都是以单颗进行,生产效率比较低,且生产成本比较高;同时光效不高的问题,这严重制约了LED的应用。

发明内容

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺,包括以下步骤,

步骤1:准备好要在固晶机上进行共晶工艺的封装支架;

步骤2:对衬底是为蓝宝石且其背面已经研磨和抛光工艺处理的LED晶圆片进行多次的上胶、曝光、显影、蚀刻、清洗、镀膜循环工艺后制作出倒装LED晶圆片,其中所述的倒装LED晶圆片其尺寸、图像分布及支架底板的图形均需一一对应;

步骤3:通过定位孔将陶瓷电路板与倒装LED晶圆片相对齐地绑定,具体是两者的共晶面相贴合地进行绑定和加压;

步骤4:把相固定好的陶瓷电路板与倒装LED晶圆片在固晶机上的封装支架进行260°~350°的高温共晶后再冷却;

步骤5:继而使用激光剥离技术让蓝宝石脱离出倒装LED晶圆片,具体是通过块状形的激光光斑聚焦照射在倒装LED晶圆片上蓝宝石与LED发光层的界面;

步骤6:使用比例为1~2.5:1的荧光粉与硅胶制成荧光膜置于LED发光层上,在此基础成型的荧光膜可选择加以封装胶水层;

步骤7:对封装支架上的多个倒装LED晶圆片进行测试、切割、分选、编带来完成封装工艺;

其中所述陶瓷电路板与倒装LED晶圆片在共晶后其厚度范围应该50um~200um之间;

其中所述陶瓷电路板需经过防焊、退膜刻蚀的工艺处理后才与倒装LED晶圆片相绑定。

优选的,所述步骤3中的陶瓷电路板能是氧化铝陶瓷电路板或氮化铝陶瓷电路板,其厚度范围应在230um~800um之间。

优选的,所述陶瓷电路板及倒装LED晶圆片上均需通过激光打孔成型出定位孔,其中陶瓷电路板还成型有多个小孔与电流导通孔。

优选的,所述陶瓷电路板经过磁控溅射与化学沉铜工艺,并镀上有焊接层。

优选的,所述陶瓷电路板上的小孔通过电镀的方式进行填充。

优选的,步骤2中所述的图形,其制作是经黄光室采用光刻板经上胶、曝光、显影、清洗技术实现。

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