[发明专利]一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺在审
申请号: | 202110617035.X | 申请日: | 2021-06-03 |
公开(公告)号: | CN113345812A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 吕健力;黄泽鑫;王永祥;戢利进 | 申请(专利权)人: | 广东新锐流铭光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/78;H01L27/15;H01L33/50;H01L33/56 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 苏登 |
地址: | 528400 广东省东莞市长*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 晶圆级无 芯片 衬底 封装 工艺 | ||
目前LED封装主要以单颗形式进行,即将切割后的LED芯片逐颗贴装基板上,如金属支架,引线框、陶瓷基板或金属基板上,然后逐颗进行引线互联、逐颗点胶;由于几乎所有工步都是以单颗进行,生产效率比较低,且生产成本比较高;同时光效不高的问题,这严重制约了LED的应用,而本发明则公开了一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺,具体是采用晶圆级一体化工艺,单次共晶数量可达千数级,能极大降低共晶成本,提高生产效率,其中本发明的主要工艺是以圆片级的方式实现的,因此生产成本更低,而且封装尺寸可以做到更小,更接近LED芯片的尺寸,可以更有效地拓宽LED的应用。
技术领域
本发明涉及LED封装技术领域,尤其涉及一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺。
背景技术
LED具有节能、环保、安全、体积小、寿命长、色彩丰富、性能可靠等显著优点,将成为人造光源史上继爱迪生发明电灯之后最重要的一次革命。传统的LED封装形式,都需要使用导线架,并且需要打线制程。LED封装技术的发展趋势为:不断小型化、持续减少封装使用的材料。晶圆级封装的定义为,封装外形尺寸与芯片相同,或是封装外形尺寸不大于芯片外形尺寸的120%,且功能完整的封装元件。LED封装从过去包含芯片、支架、金线、硅胶、荧光粉开始发展为倒装芯片,省去金线;进一步发展至晶圆级封装,则会将支架、金线全部省去。晶圆级封装不仅可以使LED的热阻最小化,而且能够实现封装的小型化,大幅降低器件的物料成本,被认为是LED封装的必然发展趋势。
目前LED封装主要以单颗形式进行,即将切割后的LED芯片逐颗贴装基板(如金属支架,引线框、陶瓷基板、金属基板)上,然后逐颗进行引线互联、逐颗点胶;由于几乎所有工步都是以单颗进行,生产效率比较低,且生产成本比较高;同时光效不高的问题,这严重制约了LED的应用。
发明内容
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种LED晶圆级无芯片衬底的封装工艺,包括以下步骤,
步骤1:准备好要在固晶机上进行共晶工艺的封装支架;
步骤2:对衬底是为蓝宝石且其背面已经研磨和抛光工艺处理的LED晶圆片进行多次的上胶、曝光、显影、蚀刻、清洗、镀膜循环工艺后制作出倒装LED晶圆片,其中所述的倒装LED晶圆片其尺寸、图像分布及支架底板的图形均需一一对应;
步骤3:通过定位孔将陶瓷电路板与倒装LED晶圆片相对齐地绑定,具体是两者的共晶面相贴合地进行绑定和加压;
步骤4:把相固定好的陶瓷电路板与倒装LED晶圆片在固晶机上的封装支架进行260°~350°的高温共晶后再冷却;
步骤5:继而使用激光剥离技术让蓝宝石脱离出倒装LED晶圆片,具体是通过块状形的激光光斑聚焦照射在倒装LED晶圆片上蓝宝石与LED发光层的界面;
步骤6:使用比例为1~2.5:1的荧光粉与硅胶制成荧光膜置于LED发光层上,在此基础成型的荧光膜可选择加以封装胶水层;
步骤7:对封装支架上的多个倒装LED晶圆片进行测试、切割、分选、编带来完成封装工艺;
其中所述陶瓷电路板与倒装LED晶圆片在共晶后其厚度范围应该50um~200um之间;
其中所述陶瓷电路板需经过防焊、退膜刻蚀的工艺处理后才与倒装LED晶圆片相绑定。
优选的,所述步骤3中的陶瓷电路板能是氧化铝陶瓷电路板或氮化铝陶瓷电路板,其厚度范围应在230um~800um之间。
优选的,所述陶瓷电路板及倒装LED晶圆片上均需通过激光打孔成型出定位孔,其中陶瓷电路板还成型有多个小孔与电流导通孔。
优选的,所述陶瓷电路板经过磁控溅射与化学沉铜工艺,并镀上有焊接层。
优选的,所述陶瓷电路板上的小孔通过电镀的方式进行填充。
优选的,步骤2中所述的图形,其制作是经黄光室采用光刻板经上胶、曝光、显影、清洗技术实现。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造