[发明专利]一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构

权利要求书

1.一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：由大底板(1)、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台(2)组成；

所述Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置(3)、Y轴动力传动组件(4)、Y轴一级线性滑轨(5)、两条Y轴二级线性滑轨(6)、Y轴滑块(7)、Y轴柔性传动件(8)、Y轴柔性传动件第一固定组件(9)、Y轴滑板(10)和Y轴柔性传动件第二固定组件(11)；所述Y轴一级线性滑轨(5)和两条所述Y轴二级线性滑轨(6)在Y轴方向平行地设置在所述大底板(1)的上表面，所述Y轴滑块(7)设置在所述Y轴一级线性滑轨(5)上，所述Y轴滑板(10)共同设置在两条所述Y轴二级线性滑轨(6)上，所述Y轴动力装置(3)设置在所述大底板(1)上，且所述Y轴动力装置(3)通过所述Y轴动力传动组件(4)与所述Y轴滑块(7)传动连接，所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)设置在所述Y轴滑块(7)上，所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)设置在所述Y轴滑板(10)上，所述Y轴柔性传动件(8)连接在所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)和所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)之间，所述Y轴滑块(7)通过所述Y轴柔性传动件(8)与所述Y轴滑板(10)柔性传动连接；

所述X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置(12)、X轴动力传动组件(13)、X轴一级线性滑轨(14)、X轴二级线性滑轨(15)、X轴主滑轨(16)、X轴一级滑块(17)、X轴二级滑块(18)、玻片架载台底座(19)、X轴一级柔性传动件(20)、X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)、X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)、X轴二级柔性传动件(23)、X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)和X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)；所述X轴一级线性滑轨(14)、所述X轴二级线性滑轨(15)、所述X轴主滑轨(16)在X轴方向平行地设置在所述Y轴滑板(10)的上表面，所述X轴一级滑块(17)设置在所述X轴一级线性滑轨(14)上，所述X轴二级滑块(18)设置在所述X轴二级线性滑轨(15)上，所述玻片架载台底座(19)设置在所述X轴主滑轨(16)上，所述X轴动力装置(12)设置在所述玻片架载台底座(19)上，且所述X轴动力装置(12)通过所述X轴动力传动组件(13)与所述X轴一级滑块(17)传动连接，所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)设置在所述X轴一级滑块(17)上，所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)设置在所述X轴二级滑块(18)上，所述X轴一级柔性传动件(20)连接在所述X轴一级柔性传动件第一固定组件(21)和所述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)之间，所述X轴一级滑块(17)通过所述所述X轴一级柔性传动件(20)与所述X轴二级滑块(18)柔性传动连接，所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)与所述述X轴一级柔性传动件第二固定组件(22)固定连接，所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)设置在所述玻片架载台底座(19)上，所述X轴二级柔性传动件(23)连接在所述X轴二级柔性传动件第一固定组件(24)和所述X轴二级柔性传动件第二固定组件(25)之间，所述X轴二级滑块(18)通过所述X轴二级柔性传动件(23)与所述玻片架载台底座(19)柔性传动连接，所述玻片架载台(2)设置在所述玻片架载台底座(19)的上表面。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，其特征在于：所述Y轴滑板(10)的内侧面紧挨着所述Y轴滑块(7)的内侧面，且所述Y轴滑块(7)的下表面高于所述Y轴滑板(10)的上表面，所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)竖直向上地固定在所述Y轴滑块(7)上表面的内侧端，所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)竖直向下的固定在所述Y轴滑板(10)下表面的内侧端，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)与所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)的位置上下对应，且所述Y轴柔性传动件第一固定组件(9)和所述Y轴柔性传动件第二固定组件(11)通过所述Y轴柔性传动件(8)连接。