[发明专利]一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构

说明书

本发明公开了一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，由大底板、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台组成；Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置、Y轴动力传动组件、Y轴滑块、Y轴柔性传动件、Y轴滑板等；X轴柔性传动移动机构包括X轴动力装置、X轴动力传动组件、X轴一级滑块、X轴二级滑块、玻片架载台底座、X轴一级柔性传动件、X轴二级柔性传动件等。本发明采用柔性传动方式，可以有效地在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程中引入的振动，优化了减振效果，提高了移动精度，进而能够实现玻片架的无振动移动，真实还原样本的自然状态，提升成像效果，为检验结果的精确性提供可靠保证。

技术领域

本发明属于机器视觉成像或电镜扫描技术领域，具体涉及一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构。

背景技术

在机器视觉成像或电镜扫描领域中，为了还原检测样本的自然状态以及保证检测结果的准确性，对于玻片架载台的移动平行度的要求非常高。但是现有的玻片架载台运动机构大多采用硬连接的传动方式，因此通常存在减振效果不佳，移动精度不高等问题，很容易造成扫描或成像效果不理想，无法保证样本检测结果的准确性。而且现有的玻片架载台运动机构的结构较为复杂，整体体积也相对较大，投资成本也高，无法满足今后对视觉成像系统或电子显微镜结构小型化、紧凑化的要求。

发明内容

针对现有技术存在的缺陷，本发明提供了一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，能有效在执行端消除由动力装置和传动装置工作过程所引入的轻微震动，真实还原样本的自然状态，对检验结果的精确性提供可靠保证。

为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种电子显微镜玻片架载台无振动水平运动机构，由大底板、Y轴柔性传动移动机构、X轴柔性传动移动机构和玻片架载台组成；

所述Y轴柔性传动移动机构包括Y轴动力装置、Y轴动力传动组件、Y轴一级线性滑轨、两条Y轴二级线性滑轨、Y轴滑块、Y轴柔性传动件、Y轴柔性传动件第一固定组件、Y轴滑板和Y轴柔性传动件第二固定组件；所述Y轴一级线性滑轨和两条所述Y轴二级线性滑轨在Y轴方向平行地设置在所述大底板的上表面，所述Y轴滑块设置在所述Y轴一级线性滑轨上，所述Y轴滑板共同设置在两条所述Y轴二级线性滑轨上，所述Y轴动力装置设置在所述大底板上，且所述Y轴动力装置通过所述Y轴动力传动组件与所述Y轴滑块传动连接，所述Y轴柔性传动件第一固定组件设置在所述Y轴滑块上，所述Y轴柔性传动件第二固定组件设置在所述Y轴滑板上，所述Y轴柔性传动件连接在所述Y轴柔性传动件第一固定组件和所述Y轴柔性传动件第二固定组件之间，所述Y轴滑块通过所述Y轴柔性传动件与所述Y轴滑板柔性传动连接；