[发明专利]一种采用新型栅网的屏栅电离室及其制造方法

权利要求书

1.一种采用新型栅网的屏栅电离室，其特征在于，包括外壳(1)、阳极(2)、阴极(3)、栅网(4)、第一场笼(5)和第二场笼(6)，

所述外壳(1)底部固定有底板(100)，所述外壳(1)的顶部配置有顶盖(10)，所述外壳(1)及所述底板(10)和所述顶盖(10)共同围成一个封闭环境；所述外壳(1)上分别设置有抽气接口(11)、充气接口(12)、泄气接口(13)和监测接口(14)；

所述阴极(3)上间隔开有多个通孔，所述阴极(3)、所述栅网(4)和所述阳极(2)于该封闭环境内依次自下而上水平设置，

所述第一场笼(5)和所述第二场笼(6)均为由四块电极板首尾依次相连围成横截面为矩形的矩形笼，所述第一场笼(5)的电极板两端分别设置有第一场笼水平凸缘(51)，所述第二场笼(6)的电极板两端分别设置有第二场笼水平凸缘(61)；

所述阴极(3)配设有阴极固定板(31)，所述阴极(3)与所述阴极固定板(31)之间以及所述阴极固定板(31)和底板(100)之间通过塑胶螺栓固定连接；

所述栅网(4)为不锈钢钢丝网，所述栅网(4)夹设于所述第一场笼(5)顶端的第一场笼水平凸缘(51)和所述第二场笼水平凸缘(61)底端的第二场笼水平凸缘(61)之间，且所述第一场笼(5)顶端的第一场笼水平凸缘(51)和所述第二场笼水平凸缘(61)底端的第二场笼水平凸缘(61)通过尼龙螺钉固定连接；

所述阳极(2)配设有阳极固定板(21)，所述阳极(2)与所述阳极固定板(21)之间以及所述阳极固定板(21)和所述第二场笼(6)顶端的第二场笼水平凸缘(61)之间通过塑胶螺栓固定连接，以实现所述阴极(3)和所述栅网(4)之间通过所述第一场笼(5)可拆卸连接和所述栅网(4)与所述阳极(2)之间通过所述第二场笼(6)可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的采用新型栅网的屏栅电离室，其特征在于，

所述底板(100)设有螺纹孔，所述第一场笼(5)底端的第一场笼水平凸缘(51)、所述阴极固定板(31)的外端和所述底板(100)通过一根尼龙螺柱(7)固定连接，所述阴极(3)与所述阴极固定板(31)的内端通过尼龙螺柱(7)固定连接。

3.如权利要求1所述的采用新型栅网的屏栅电离室，其特征在于，

所述第二场笼(6)顶端的第二场笼水平凸缘(61)与所述阳极固定板(21)的外端通过尼龙螺柱(7)固定连接，所述阳极(2)与所述阳极固定板(21)的内端通过尼龙螺柱(7)固定连接。

4.如权利要求1所述的采用新型栅网的屏栅电离室，其特征在于，

所述电极板是双面均蚀刻出平行金属电极条的印刷电路板，电极板的两个面的电极条是交错排列，电极条宽度是1.2毫米，电极条间距是0.8毫米。

5.一种屏栅电离室的制造方法，采用如权利要求1至4任一所述的屏栅电离室，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤S1：将四块电极板首尾依次相连分别组装成第一场笼(5)和第二场笼(6)，将第一场笼(5)和阴极(3)固定于底板(100)上；

步骤S2：拉展不锈钢钢丝网形成栅网(4)；

步骤S3：第一场笼(5)和第二场笼(6)通过尼龙螺钉固定连接，并将栅网(4)夹设在第一场笼(5)和第二场笼(6)之间，继续在第二场笼(6)的顶端固定阳极(2)；

步骤S4：顶盖(10)与外壳(1)通过法兰密封连接，将与外壳(1)及底板(10)共同围成一个封闭环境，所述抽气接口(11)外接抽气泵；所述充气接口(12)外接储气瓶，所述储气瓶存储有工作气体，该工作气体为10％甲烷和90％氩气的混合气；所述泄气接口(13)外接泄气阀；所述监测接口(14)外接压力表；

步骤S5：启动抽气泵，将封闭环境抽成真空形成真空密闭环境；将储气瓶的10％甲烷和90％氩气的混合气充入真空密闭环境内；通过压力表监测真空密闭环境内的气压变化。