[发明专利]一种匀气机构及镀铝机

权利要求书

1.一种匀气机构，其特征在于，包括：匀气板、设置在所述匀气板其中一侧壁上的进气口、与所述进气口相对的所述匀气板的另一侧壁上设置有安装槽以及设置在所述安装槽内的出气管；所述匀气板内设置有相互连通的第一气体腔室和第二气体腔室；所述第一气体腔室的进气端与所述进气口的出气端连通，所述第二气体腔室的出气端与所述出气管的进气端连通，所述出气管远离所述匀气板的侧壁上设置有若干个排气口。

2.根据权利要求1所述的匀气机构，其特征在于，所述第一气体腔室和第二气体腔室均为长条状，所述第二气体腔室的长度长于所述第一气体腔室的长度。

3.根据权利要求2所述的匀气机构，其特征在于，所述进气口的出气端、所述第一气体腔室的出气端以及所述第二气体腔室的出气端的深度小于所述第一气体腔室和所述第二气体腔室的深度。

4.根据权利要求2所述的匀气机构，其特征在于，所述第一气体腔室的宽度、第二气体腔室的宽度、所述第一气体腔室出气端的宽度、所述第二气体腔室出气端的宽度从大到小依次序排列。

5.根据权利要求4所述的匀气机构，其特征在于，所述出气管进气端的宽度小于所述第二气体腔室出气端的宽度。

6.根据权利要求5所述的匀气机构，其特征在于，所述出气管进气端的尺寸大于所述排气口的尺寸。

7.根据权利要求1所述的匀气机构，其特征在于，所述匀气板包括上下设置的第一密封板和第二密封板，所述第一密封板和第二密封板上设置有若干个用于固定的螺纹孔，所述螺纹孔避让所述第一气体腔室、所述第二气体腔室设置。

8.一种镀铝机，包括蒸发槽以及设置于所述蒸发槽内的蒸发舟，其特征在于，还包括如权利要求1-7任一项所述的匀气机构；所述匀气机构设置在所述蒸发舟上方，薄膜位于所述匀气机构的排气口的上方，所述匀气机构的进气口与供气机构连通，所述供气机构包括气体混合部以及分别与所述气体混合部连通的氩气输送部、氧气输送部。

9.根据权利要求8所述的镀铝机，其特征在于，所述气体混合部中氧气与氩气的混合比例为4∶1。

10.根据权利要求9所述的镀铝机，其特征在于，氧气与氩气混合后，气体流速为100slm～500slm。