[发明专利]芯片的转运装置及其载具机构在审
申请号: | 202110626477.0 | 申请日: | 2021-06-04 |
公开(公告)号: | CN113380691A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 陈海波 | 申请(专利权)人: | 深兰人工智能芯片研究院(江苏)有限公司;深兰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 苏州领跃知识产权代理有限公司 32370 | 代理人: | 王宁 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 转运 装置 及其 机构 | ||
本申请提供了一种芯片的转运装置及其载具机构,载具机构包括:固定块、驱动块、复位件、第一夹紧件和第二夹紧件;所述固定块的顶面上设置有第一容置部,所述固定块的侧面上设置有第二容置部;所述驱动块的第一端容置在所述固定块的第二容置部内,所述驱动块的第二端位于所述固定块外,所述复位件设置在所述固定块的第二容置部内;所述第一夹紧件的下端和第二夹紧件的下端分别设置在所述固定块的第一容置部内,所述驱动块向内移动时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件分离,所述驱动块向外时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件靠近并将芯片夹设在所述第一夹紧件和第二夹紧件之间。上述载具机构能够方便地承载芯片。
技术领域
本申请涉及芯片加工技术领域,尤其涉及一种芯片的转运装置及其载具机构。
背景技术
伴随分子生物学理论和技术的发展,芯片技术在检测方面具有高通量、多样性、微型化和自动化的优势特点。在对各种病原体的分子检测中,往往针对病原体的基因进行检测。而芯片技术能对各种病原体的RNA、DNA进行定性和定量的分析,从而帮助诊断者明确疾病的种类及疾病的感染程度。因此芯片技术在传染性疾病的诊断和病原体的筛查上发挥着越来越重要的作用。制作完成的芯片在使用前,要完成上料、预装、组装、下料等工序,就需要对芯片进行转移,以完成各个环节的操作。
然而,如果通过人工的手段对芯片进行转移和各个工序的操作,则会工作量大,工作效率低,容易对芯片造成污染,即影响芯片的合格率。
发明内容
本申请的目的在于提供一种芯片的转运装置及其载具机构,可以高效、快速的完成芯片在各个工位之间的转移和各个工序的操作,而且对芯片的污染率低。
本申请的目的采用以下技术方案实现:
一种芯片的载具机构包括:固定块、驱动块、复位件、第一夹紧件和第二夹紧件;所述固定块的顶面上设置有第一容置部,所述固定块的侧面上设置有第二容置部,所述固定块的第一容置部和第二容置部连通;所述驱动块包括相对的第一端和第二端,所述驱动块的第一端容置在所述固定块的第二容置部内,所述驱动块的第二端位于所述固定块外,所述复位件设置在所述固定块的第二容置部内,在所述驱动块向所述固定块的第二容置部内移动时,所述复位件产生驱动所述驱动块复位的作用力;所述第一夹紧件的下端和第二夹紧件的下端分别设置在所述驱动块的第一容置部内,所述驱动块向所述固定块的第二容置部内移动时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件分离,所述驱动块背向所述固定块的第二容置部移动时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件靠近并将芯片夹设在所述第一夹紧件和第二夹紧件之间。该技术方案的有益效果在于,当所述驱动块背向所述固定块的第二容置部移动时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件靠近并将芯片夹设在所述第一夹紧件和第二夹紧件之间;当所述驱动块朝向所述固定块的第二容置部移动时,所述驱动块驱动所述第一夹紧件和第二夹紧件远离并将夹设在所述第一夹紧件和第二夹紧件之间的芯片释放或在所述第一夹紧件和第二夹紧件之间放入芯片。
在一些可选的实施例中,所述驱动块的顶面上设置有第一容纳部和第二容纳部;所述第一夹紧件包括第一夹紧块和第一导轴,所述第一导轴的上端连接所述第一夹紧块的下端,所述第一导轴的下端容置在所述驱动块的第一容纳部内;所述第二夹紧件包括第二夹紧块和第二导轴,所述第二导轴的上端连接所述第二夹紧块的下端,所述第二导轴的下端容置在所述驱动块的第二容纳部内。该技术方案的有益效果在于,当所述驱动块移动时,分别容置于所述驱动块的第一容纳部和第二容纳部的所述第一导轴和第二导轴随之移动,所述第一夹紧件和所述第二夹紧件也做相应的移动,第一夹紧件和第二夹紧件靠近或远离,靠近时可以夹设芯,远离时可以供芯片放入或释放芯片。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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