[发明专利]一种P型背接触式晶硅太阳能电池、制备方法及电池组件在审
申请号: | 202110627504.6 | 申请日: | 2021-06-04 |
公开(公告)号: | CN113345970A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 邵家俊;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 贾振勇 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 式晶硅 太阳能电池 制备 方法 电池 组件 | ||
1.一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,包括P型硅片,所述P型硅片的正面设置有钝化减反射层;
所述P型硅片的背面设置有P+掺杂区、N+掺杂区、背面钝化层、正电极及负电极,所述P+掺杂区与N+掺杂区交替间隔分布,所述背面钝化层覆盖所述P+掺杂区及所述N+掺杂区;
所述N+掺杂区包括设于所述P型硅片背面的隧穿氧化层、及设于所述隧穿氧化层之上的N+掺杂多晶硅,所述正电极与所述P+掺杂区形成欧姆接触,所述负电极与所述N+掺杂多晶硅形成欧姆接触;所述P型硅片背面对应所述负电极的位置设有绒面结构,所述负电极对应所述绒面结构的位置设有与所述N+掺杂多晶硅形成欧姆接触的粗糙纹理结构。
2.根据权利要求1所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述绒面结构的宽度为80-200um。
3.根据权利要求1所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述N+掺杂多晶硅的方阻为50-200Ω/sqr。
4.根据权利要求1所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述P型硅片背面设置有与所述P+掺杂区的数量相对应的凹槽,每个所述P+掺杂区对应设置于一所述凹槽的底部。
5.根据权利要求4所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述凹槽的底部设置有绒面,所述正电极设置于所述绒面上,且所述背面钝化层覆盖所述绒面。
6.根据权利要求4或5所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述凹槽的宽度为300-600um,所述凹槽的深度为0.3-10um,相邻两个所述凹槽之间的距离为20-500um。
7.根据权利要求1所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述隧穿氧化层的厚度为1-5nm。
8.根据权利要求1所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池,其特征在于,所述钝化减反射层和所述背面钝化层分别为氧化铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜的一种或多种组合。
9.一种P型背接触式晶硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
抛光:选用P型硅片,并将P型硅片进行抛光处理;
第一次制绒:在所述P型硅片的背面对应制备负电极的位置进行制绒形成绒面结构;
制备隧穿氧化层:在所述P型硅片的背面制备隧穿氧化层;
制备N+掺杂多晶硅:在所述P型硅片的背面制备N+掺杂多晶硅;
第二次制绒:在所述P型硅片的正面进行制绒形成绒面;
制备钝化减反射层和背面钝化层:在所述P型硅片的正面制备钝化减反射层,在所述P型硅片的背面制备背面钝化层;
激光开槽:在所述P型硅片的背面对应制备正电极的位置进行激光开槽,以露出P型硅片;
正、负电极印刷烧结:在所述P型硅片背面的第一次制绒位置使用银浆料印刷负电极,在所述P型硅片背面的激光开槽位置使用铝浆料印刷正电极,并烧结烘干,以使所述正电极与所述P型硅片之间形成P+掺杂区,所述负电极形成与所述N+掺杂多晶硅形成欧姆接触的粗糙纹理结构。
10.根据权利要求9所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述将P型硅片进行抛光处理具体包括:
使用浓度为1.5-15%的碱溶液对所述P型硅片进行抛光,抛光后的所述P型硅片的反射率控制在38%-45%。
11.根据权利要求9所述的一种P型背接触式晶硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述第一次制绒的步骤包括:
在所述P型硅片背面制备掩膜;
在所述P型硅片背面对应制备负电极的位置进行激光消融刻蚀掩膜,以露出所述P型硅片;
在所述P型硅片背面的激光消融区域制绒形成绒面结构,并通过酸洗去除非激光消融区域的掩膜。
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