[发明专利]一种晶圆端面精磨装置

权利要求书

1.一种晶圆端面精磨装置，其特征在于，包括：

支撑体（1），包括箱体（10），箱体（10）的两侧均开设有若干个散热窗（11），箱体（10）的一侧开口，且开口的两侧均安装有铰链（12），位于同侧的铰链（12）均安装有启闭门（13），箱体（10）的上端设有工作台（14）；

支撑组件（2），数量为四个，均设于支撑体（1）的下端，包括设于箱体（10）下端的支撑构件（20），支撑构件（20）设有滑动机构（21）；

进料组件（3），设于支撑体（1）的一端，包括设于工作台（14）一端的内移机构（30），内移机构（30）设有放置构件（31）；

转取组件（4），设于支撑体（1），位于支撑体（1）的前侧，包括设于工作台（14）的转动机构（40），转动机构（40）连接有伸缩机构（41），伸缩机构（41）设有夹取机构；

转移组件（5），设于支撑体（1），位于支撑体（1）的后侧，包括设于工作台（14）后侧的横移机构（50），横移机构（50）设有一对升降机构（51），升降机构（51）之间设有前推机构（52），前推机构（52）设有夹持机构（53）；

精磨组件（6），设于支撑体（1）另一端，包括设于工作台（14）另一端的调节机构（60）与精磨机构（61），调节机构（60）位于精磨机构（61）的上方；

进料组件（3）用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件（4）用于夹持位于进料组件（3）内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件（5）运动，转移组件（5）用于夹持被转取组件（4）夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件（6）运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件（6）用于多片晶圆的端面精磨；

转动机构（40）包括安装于工作台（14）的安装台（400），安装台（400）位于工作台（14）的前侧，安装台（400）向上延伸地设有一对第一转动轴承座（401），第一转动轴承座（401）之间下端设有限位挡板（402），第一转动轴承座（401）内穿有转动轴（403），转动轴（403）的外侧端设有转动从动轮（404），转动从动轮（404）设有转动传动带（405），转动传动带（405）的下端设有转动驱动轮（406），转动驱动轮（406）设有第二转动轴承座（407），第二转动轴承座（407）安装于工作台（14），第二转动轴承座（407）安装有转动电机（408），转动电机（408）连接于转动驱动轮（406），转动轴（403）设有转动板（409）；

伸缩机构（41）包括安装于转动板（409）另一端的矩形块（410），矩形块（410）的外壁安装有伸缩内板（411），伸缩内板（411）的四个角均向外延伸地设有四根连接中杆（412），连接中杆（412）的外侧端设有伸缩外板（413），伸缩外板（413）向外延伸地设有外伸筒（414），外伸筒（414）内穿有螺纹筒（415），螺纹筒（415）的内侧端穿于矩形块（410），伸缩内板（411）与伸缩外板（413）之间设有伸缩从动轮（416），伸缩从动轮（416）啮合有伸缩驱动轮（417），伸缩驱动轮（417）连接有第一驱动电机（419），第一驱动电机（419）安装有伸缩轴承座（418），伸缩轴承座（418）安装于矩形块（410）的上端，矩形块（410）的内壁安装有第二安装板（4190），第二安装板（4190）向外延伸地设有限位筒（4191），限位筒（4191）的内壁成形有限位凸，螺纹筒（415）内旋有螺纹头，螺纹头的向外延伸地设有伸缩杆（4192），伸缩杆（4192）开设有限位凹槽，限位凸穿于限位凹槽内；

夹取机构包括安装于伸缩杆（4192）外侧端的夹持圆盘（420），夹持圆盘（420）向外延伸地设有三根支板（421），支板（421）均成形有穿孔（4210），夹持圆盘（420）的外壁安装有三个夹持气缸（422），夹持气缸（422）的活动端均设有活动板（423），活动板（423）均穿于穿孔（4210）内，活动板（423）的另一端安装有夹持板（424），夹持板（424）的夹持端面为向内凹陷的弧面。