[发明专利]推拉控制设备和扩散炉系统

权利要求书

1.一种推拉控制设备，其特征在于，用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，所述推拉控制设备包括：

步进电机，所述步进电机与所述推拉舟连接；

电机驱动器，所述电机驱动器与所述步进电机电连接；

可编程控制器，所述可编程控制器的输出端与所述电机驱动器电连接；

第一继电器，所述第一继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器；

终端控制设备，所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端电连接，所述终端控制设备用于根据设定触发信号控制所述第一继电器输出第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第一控制信号输出第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动出扩散腔室。

2.根据权利要求1所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

第一限位开关，所述第一限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端之间；

其中，当所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第一目标位置时，触发所述第一限位开关断开，以使所述第一继电器停止输出所述第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第一目标位置。

3.根据权利要求1所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

第二继电器，所述第二继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器，且所述第二继电器的控制端与所述终端控制设备的输出端电连接；

其中，所述终端控制设备还用于根据设定触发信号控制所述第二继电器输出第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第二控制信号输出第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动进所述扩散腔室。

4.根据权利要求3所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

第二限位开关，所述第二限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第二继电器的控制端之间；

其中，当所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第二目标位置时，触发所述第二限位开关断开，以使所述第二继电器停止输出所述第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第二目标位置。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

可编程触摸屏，所述可编程触摸屏与所述可编程控制器电连接，用于响应对应用户的操作生成控制指令，并将所述控制指令传输给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述控制指令对输出的脉冲信号进行控制。

6.根据权利要求1-4任意一项所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

总电源开关，所述总电源开关的输入端用于电连接外部供电电源；

第一开关电源，所述第一开关电源的输入端与所述总电源开关的输出端电连接，用于在所述总电源开关闭合之后基于所述供电电源的供电对所述可编程控制器提供第一电压，并对所述终端控制设备提供第二电压。

7.根据权利要求6所述的推拉控制设备，其特征在于，所述推拉控制设备还包括：

第二开关电源，所述第二开关电源的输入端与所述总电源开关的输出端电连接，用于在所述总电源开关闭合之后基于所述供电电源的供电对所述电机驱动器、所述第一继电器提供第一电压。