[发明专利]推拉控制设备和扩散炉系统

说明书

本申请提供的推拉控制设备和扩散炉系统，涉及半导体器件生产技术领域。在本申请中，推拉控制设备用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，推拉控制设备包括步进电机、电机驱动器、可编程控制器、第一继电器和终端控制设备。终端控制设备用于根据设定触发信号控制第一继电器输出第一控制信号给可编程控制器，可编程控制器基于第一控制信号输出第一脉冲信号给电机驱动器，电机驱动器基于第一脉冲信号驱动步进电机带动推拉舟运动出扩散腔室。基于上述设置，可以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。

技术领域

本申请涉及半导体器件生产技术领域，具体而言，涉及一种推拉控制设备和扩散炉系统。

背景技术

扩散工序是半导体器件生产制造过程中的重要工序，对应地，扩散炉属于半导体器件生产制造过程中的重要设备。其中，扩散炉包括推拉舟和扩散腔室，推拉舟用于将半导体器件推送进扩散腔室执行扩散工序，并在扩散工序完成之后将半导体器件推离扩散腔室。

但是，经发明人研究发现，在现有技术中，由于对推拉舟的驱动控制的效果不好，因而，存在半导体器件的生产效率较低和质量不佳的问题。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种推拉控制设备和扩散炉系统，以改善现有技术中半导体器件的生产效率较低和产品质量不佳的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用如下技术方案：

一种推拉控制设备，用于对扩散炉的推拉舟进行驱动，所述推拉控制设备包括：

步进电机，所述步进电机与所述推拉舟连接；

电机驱动器，所述电机驱动器与所述步进电机电连接；

可编程控制器，所述可编程控制器的输出端与所述电机驱动器电连接；

第一继电器，所述第一继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器；

终端控制设备，所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端电连接，所述终端控制设备用于根据设定触发信号控制所述第一继电器输出第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第一控制信号输出第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动出扩散腔室。

在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：

第一限位开关，所述第一限位开关电连接在所述终端控制设备的输出端与所述第一继电器的控制端之间；

其中，当所述电机驱动器基于所述第一脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动至第一目标位置时，触发所述第一限位开关断开，以使所述第一继电器停止输出所述第一控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器停止输出所述第一脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器停止驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动，使得所述推拉舟保持在所述第一目标位置。

在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：

第二继电器，所述第二继电器的输出端与所述可编程控制器的输入端电连接，以控制输入端的信号是否传输给所述可编程控制器，且所述第二继电器的控制端与所述终端控制设备的输出端电连接；

其中，所述终端控制设备还用于根据设定触发信号控制所述第二继电器输出第二控制信号给所述可编程控制器，所述可编程控制器基于所述第二控制信号输出第二脉冲信号给所述电机驱动器，所述电机驱动器基于所述第二脉冲信号驱动所述步进电机带动所述推拉舟运动进所述扩散腔室。

在本申请实施例较佳的选择中，在上述推拉控制设备中，所述推拉控制设备还包括：