[发明专利]温度检测装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种温度检测装置，应用于蒸镀设备，其特征在于，包括：

第一温度检测单元，用于设置在所需测温的所述蒸镀设备的工作腔内；

第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；

测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；

连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过设置于所述工作腔外的同一对连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接；所述连接导线为热电偶补偿导线；

所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；

所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电连接的第一触点，所述第一触点与所述连接导线电连接；

所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁与所述基体转动中心的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的拉簧；或，

所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件设置于，所述衔铁与所述基体转动中心的同侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的压簧；或，

所述衔铁与所述基体或所述电磁铁滑动配合，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体或所述电磁铁之间的压簧；

所述绝缘件在其运动方向上，相背的两侧分别设置有所述第一触点，其中一侧的所述第一触点正对于所述第一温度检测单元连接的第二触点设置，另一侧的所述第一触点正对于所述第二温度检测单元连接的第三触点设置；

通过选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接以判断异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的连接导线。

2.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。

3.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述测量单元为二次仪表。

4.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-3任一项所述的温度检测装置。