[发明专利]温度检测装置及蒸镀设备

说明书

本申请公开了一种温度检测装置及蒸镀设备，其中，温度检测装置，包括第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。

技术领域

本发明一般涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种温度检测装置及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀是一种用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。例如，在OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机发光二极管)制备工艺中，通过蒸镀设备将工作腔(蒸发腔)中的材料蒸镀到玻璃基板或对应的附着层上，完成蒸镀工艺。在蒸镀过程中，工作腔内的温度可以达到500℃～1200℃，为了监控工作腔内的温度，会在工作腔中设置热电偶来进行温度检测。

在蒸镀过程中，工作腔内温度的稳定性是保证膜厚和均一性的重要指标，因此需要根据热电偶所检测的温度，对工作腔的温度进行调节，但是，当热电偶或与热电偶连接的热电偶补偿导线发生异常时，其所反馈的温度示数也会出现波动，这时基于测量温度调控的其他参数如Power(电源)便会受到影响，最终影响速率的稳定，从而导致无法进行正常工艺。

目前，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在热电偶，还是出现在与热电偶连接的热电偶补偿导线，这用情况下，需要对蒸镀设备进行停机，采用人工拆解工作腔，并对热电偶进行检测，在拆解的过程中，存在对工作腔造成损坏的风险，另外，在对工作腔进行拆解后，工作腔处于冷却状态，无法重现异常发生时的波动状态，同样难以定位异常位置，导致无效操作，且因停机对生产进度造成严重损失。

发明内容

本申请期望提供一种温度检测装置及蒸镀设备，用以解决现有技术中，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线的问题。

第一方面，本发明提供一种温度检测装置，包括：

第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；

第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；

测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；

连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。

作为一种可实现方式，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。

作为一种可实现方式，所述连接导线为热电偶补偿导线。

作为一种可实现方式，所述测量单元为二次仪表。

作为一种可实现方式，所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；

所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电连接的第一触点，所述第一触点与所述连接导线电连接。

作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁与所述基体转动中心的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的拉簧。