[发明专利]一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法

权利要求书

1.一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其特征是，它采用数显千分尺测量厚度尺寸与万级电子天平称重相结合的方式，通过检测数据对游轮进行分类和分档处理，具体操作步骤如下：

a、对新游轮进行去油清洗处理，晾干；

b、利用数显千分尺测量每一片游轮的厚度尺寸，并依据测量结果将游轮分类为初检合格品和初检不合格品；

c、对初检不合格品进行分档，超差1μm为一档，超差2μm为二挡，再由同一档次的6片/副或9片/副游轮组成一副游轮，对每一副游轮整体进行修磨，然后再利用数显千分尺进行厚度尺寸测量；

d、重复步骤b和步骤c，直到所有游轮均被数显千分尺检测为初检合格品；

e、利用万级电子天平对经数显千分尺检测被判定为初检合格品的游轮逐个称重，并将称重所读取的数据与标准游轮重量数值进行比对，依照比对结果将初检合格品游轮分档；

f、分档后由同一档次的若干片游轮组成一副游轮，对每一副游轮整体进行修磨；

g、修磨完毕后，清洗晾干，用万级天平对每一副游轮整体进行称重，将重量散差符合要求的游轮副挑出，再通过数显千分尺进一步验证其厚度尺寸符合要求，然后对每一副游轮整体进行标识、密封保存备用；

h、对步骤g中检测的重量散差不符合要求的游轮副，重复整体修磨步骤和称重检测步骤，直到所有游轮副重量数值均符合重量散差要求，再通过数显千分尺进一步验证其厚度尺寸符合要求，然后对每一副游轮整体进行标识、密封保存备用。

2.根据权利要求1所述的石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其特征是，在所述步骤a中，新游轮去油清洗选用10%洗涤灵稀释液进行超声清洗15分钟，再用纯水超洗3次每次10分钟，取出后下面垫平整的无尘纸放置在通风处晾干。

3.根据权利要求2所述的石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其特征是，在所述步骤c中，利用万级电子天平进行游轮称重时，将游轮放置在专用的蓝宝石垫板上，所述蓝宝石垫板厚度约0.7mm，平面度≤5μm。

4.根据权利要求1或2或3所述的石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其特征是，在所述步骤f中，对每一副游轮整体进行修磨时，根据分档数据确定修磨过程中的压力值和转速参数。

5.根据权利要求4所述的石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其特征是，在所述步骤g和步骤h中，对游轮清洗时，选用10%洗涤灵稀释液进行超声清洗15分钟，后用纯水超洗3次，每次10分钟，取出后下面垫平整的无尘纸放置晾干，密封保存时环境温度控制在25±4℃范围内，湿度≤40% 。