[发明专利]一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法

说明书

一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，其操作步骤为：a、新游轮清洗，晾干；b、利用数显千分尺测量每一片游轮的厚度，并将游轮分类为初检合格品和不合格品；c、对初检不合格品进行修磨，再利用数显千分尺进行厚度测量；d、重复步骤b、c，至全部游轮均为初检合格品；e、利用万级电子天平对上述游轮逐个称重，将初检合格品游轮分档；f、对同一档次的每一副游轮整体进行修磨；g、清洗晾干，用万级天平进行称重，符合要求的游轮副经数显千分尺进一步验证后整体标识、密封保存；h、对步骤g中判定的不符合要求的游轮副，重复整体修磨步骤和称重检测步骤后整体标识、密封保存。本发明提高了游轮修磨精度，从而提高了石英晶片的产品质量。

技术领域

本发明涉及一种检测方法，尤其是一种适于石英晶片抛光游轮在修磨过程中对其厚度进行检测的方法，属于测试、测量技术领域。

背景技术

在石英晶片加工过程中，研磨、抛光是必不可少的主面加工工序，而在晶片研磨、抛光作业时，晶片厚度散差与游轮厚度散差基本一致，可见游轮是研磨、抛光工序的重要工装部件，一副游轮（将研磨或抛光加工时同时使用的多片游轮称为一副游轮）的厚度尺寸、面型精度及一致性对于保证石英晶片的加工质量至关重要，而在通常情况下，采购的新游轮厚度尺寸较大，需要对其厚度尺寸进行检测、分类并修磨，然后检测合格后方可使用。

传统的游轮厚度检测方法采用数显千分尺作为测量工具，通过数显千分尺测量游轮的厚度尺寸，由于数显千分尺显示最小单位是1μm，测量精度为±1μm，再加上操作者人为因素和重复性测量误差的影响，游轮厚度测量的总误差最大可达到3μm。以型号为4.3B的游轮为例，在完成游轮修磨作业后，采用数显千分尺检测合格并投入使用，加工的晶片产品单盘频率散差在1500-2000ppm（ppm即百万分率 10^-6）范围内，使得晶片产品的质量难以提高。经排查试验分析，确认影响晶片产品频率散差的主要因素是游轮的厚度散差，为此需要提高游轮厚度的检测水平，寻找一种可有效提高检测精度的检测方法。

发明内容

本发明提供一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，以实现对游轮厚度尺寸的精准测量和分类，达到提高石英晶片产品质量的目的。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种石英晶片抛光游轮修磨厚度检测方法，采用数显千分尺测量厚度尺寸与万级电子天平称重相结合的方式，通过检测数据对游轮进行分类和分档处理，具体操作步骤如下：

a、对新游轮进行去油清洗处理，晾干；

b、利用数显千分尺测量每一片游轮的厚度尺寸，并依据测量结果将游轮分类为初检合格品和初检不合格品；

c、对初检不合格品进行分档，由同一档次的若干片游轮组成一副游轮，对每一副游轮整体进行修磨，然后再利用数显千分尺进行厚度尺寸测量；

d、重复步骤b和步骤c，直到所有游轮均被数显千分尺检测为初检合格品；

e、利用万级电子天平对经数显千分尺检测被判定为初检合格品的游轮逐个称重，并将称重所读取的数据与标准游轮重量数值进行比对，依照比对结果将初检合格品游轮分档；

f、分档后由同一档次的若干片游轮组成一副游轮，对每一副游轮整体进行修磨；

g、修磨完毕后，清洗晾干，用万级天平对每一副游轮整体进行称重，将重量散差符合要求的游轮副挑出，再通过数显千分尺进一步验证其厚度尺寸符合要求，然后对每一副游轮整体进行标识、密封保存备用；

h、对步骤g中检测的重量散差不符合要求的游轮副，重复整体修磨步骤和称重检测步骤，直到所有游轮副重量数值均符合重量散差要求，再通过数显千分尺进一步验证其厚度尺寸符合要求，然后对每一副游轮整体进行标识、密封保存备用。