[发明专利]测厚装置以及测厚方法

权利要求书

1.一种测厚装置，其特征在于，包括用于放置待测物的载物台、设置在所述载物台上方的测量组件以及用于驱动所述测量组件沿竖直方向运动的Z轴动力组件；

所述Z轴动力组件用于驱动所述测量组件依次按照第一速度和第二速度下降，直至所述测量组件与所述待测物接触，所述第一速度大于所述第二速度。

2.根据权利要求1所述的测厚装置，其特征在于，所述Z轴动力组件包括Z轴电机；

所述测量组件下降时，所述Z轴电机用于驱动测量组件按照所述第二速度下降的距离为5倍Z轴电机倍距～10倍所述Z轴电机步距。

3.根据权利要求1或2所述的测厚装置，其特征在于，还包括伸缩组件，所述伸缩组件包括与所述Z轴动力组件连接的支撑件以及设置在所述支撑件上的动力件，所述动力件与所述测量组件连接，并且所述动力件用于驱动所述测量组件相对于所述支撑件伸出或缩回。

4.根据权利要求1所述的测厚装置，其特征在于，还包括设置在所述载物台上方且与所述测量组件连接的承载组件以及设置在所述承载组件上的激光组件，所述Z轴动力组件用于驱动所述承载组件沿所述竖直方向运动，从而带动所述测量组件和所述激光组件一起运动。

5.根据权利要求4所述的测厚装置，其特征在于，所述承载组件包括承载件，所述承载件上设有激光加工通孔，所述激光组件设置在所述承载件上，并且所述激光组件发出的激光通过所述激光加工通孔射向所述载物台。

6.一种使用权利要求1～5中任意一项所述的测厚装置的测厚方法，其特征在于，包括如下步骤：

获得所述载物台的高度；

将所述待测物放置在所述载物台上；

所述Z轴动力组件驱动所述测量组件按照所述第一速度下降预设距离后，所述Z轴动力组件停止；

所述Z轴动力组件驱动所述测量组件按照所述第二速度下降，直至所述测量组件与所述待测物接触，获得所述待测物的高度；以及

根据所述载物台的高度和所述待测物的高度，计算得到所述待测物的厚度。

7.根据权利要求6所述的测厚方法，其特征在于，所述Z轴动力组件包括Z轴电机；

所述Z轴动力组件驱动所述测量组件按照所述第二速度下降的操作中，所述测量组件下降的距离为5倍Z轴电机倍距～10倍所述Z轴电机步距和保险距离之和。

8.根据权利要求7所述的测厚方法，其特征在于，所述保险距离为0mm～5mm。

9.根据权利要求7所述的测厚方法，其特征在于，所述Z轴动力组件驱动所述测量组件按照所述第二速度下降的操作为：所述Z轴动力组件驱动所述测量组件以所述Z轴电机步距为15μm～50μm按照所述第二速度下降。

10.根据权利要求8所述的测厚方法，其特征在于，所述第二速度为40μm/s～200μm/s。

11.根据权利要求8所述的测厚方法，其特征在于，还包括在所述将所述待测物放置在所述载物台上的步骤之前，进行如下操作：获取所述待测物的初测厚度，并且根据所述载物台的高度、所述待测物的初测厚度以及所述测量组件按照所述第二速度下降的距离，计算得到所述预设距离。