[发明专利]分离单元划分衬底的假件的装置及用于划分单元的装置

权利要求书

1.一种用于分离单元划分衬底的假件的装置，所述装置包括：

假件夹持部，在其中心处具有通孔且配置成夹持所述衬底的所述假件的至少一部分，所述衬底划分为单元和所述假件且支撑在衬底支撑部件上，以使所述假件与所述衬底支撑部件分离；以及

假件加载部，具有与所述通孔连通的开口部且设置在所述假件夹持部之下，以通过所述通孔和所述开口部加载所述假件，其中从所述假件夹持部释放所述假件的夹持。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述假件夹持部包括：

框架，沿所述假件的外部部分设置以形成所述通孔；以及

多个固定销，设置成在所述框架上彼此间隔开，且插入到所述假件的所述外部部分中以固定所述假件。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述假件夹持部还包括弹性支撑部，所述弹性支撑部设置在所述多个固定销中的每一个周围且配置成支撑所述假件在支撑表面上的所述外部部分，所述支撑表面的高度根据按压而变化。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述假件夹持部还包括固定销移动部，所述固定销移动部配置在所述假件的厚度方向上移动所述多个固定销中的每一个。

5.根据权利要求2所述的装置，其中所述框架的面向所述通孔的内表面在所述通孔的内部方向上倾斜或弯曲。

6.根据权利要求1所述的装置，还包括假件移除部，所述假件移除部配置成推动支撑在所述假件夹持部上的所述假件，以通过所述通孔移除所述假件。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述假件移除部包括移动部，所述移动部配置成推动所述假件的外部部分以使所述假件从所述假件夹持部掉落。

8.根据权利要求1所述的装置，还包括假件加载引导部，所述假件加载引导部设置在所述假件夹持部与所述假件加载部之间，且具有与所述假件夹持部的所述通孔连通的第一开口和面向所述第一开口以与所述假件加载部的所述开口部连通的第二开口。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述第二开口具有比所述第一开口的宽度更小的宽度，且

所述假件加载引导部具有内表面，所述内表面在所述第一开口与所述第二开口之间的内部方向上倾斜或弯曲。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述衬底为薄膜，其中母片划分为至少一个或多个所述单元和包围每一个所述单元中的假件。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述单元设置为彼此间隔开的多个，且

所述假件包括设置在所述衬底的边缘部分处的外部部分和设置在所述衬底的中心部分处的中心分支部，且所述外部部分和所述中心分支部彼此连续地连接。

12.根据权利要求10所述的装置，其中所述假件夹持部配置成夹持所述假件的外部部分，所述外部部分设置在所述衬底的边缘部分处。

13.一种用于划分单元的装置，所述装置包括∶

如权利要求1至12中任一项所述的用于分离单元划分衬底的假件的装置；以及

衬底转移部，配置成通过所述衬底支撑部件吸附并固定所述衬底的顶表面以支撑所述衬底，且配置成将所述衬底移动到所述用于分离所述假件的装置的上侧。

14.根据权利要求13所述的用于划分单元的装置，其中用于分离所述假件的所述装置的所述假件夹持部对所述假件的夹持力大于所述衬底支撑部件对所述假件的吸附力。

15.根据权利要求13所述的用于划分单元的装置，其中所述衬底支撑部件在所述衬底的支撑表面中具有对应于所述假件夹持部的销孔。

16.根据权利要求13所述的用于划分单元的装置，还包括：

衬底切割部，配置成将所支撑的所述衬底切割为至少一个或多个所述单元，以将所述衬底划分为所述单元和所述假件；以及

单元支撑部，配置成支撑所述单元，通过所述单元从所述衬底移除所述假件，

其中用于分离所述假件的所述装置设置在所述衬底切割部与所述单元支撑部之间。