[发明专利]一种蒸发源装置

权利要求书

1.一种蒸发源装置，包括可加热的容器和对容器进行加热的加热源，其特征在于：所述容器具有一开口，其开口处具有一用于封住开口的顶盖，所述顶盖中部具有一连通容器内部的通道，该通道构成一喷嘴，所述顶盖内具有若干层沿顶盖轴向布置且环绕在通道周侧的反射板。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述通道上部呈上大下小的敞口状。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：所述反射板具有环绕通道的通孔，所述反射板的通孔的口径从上至下依次减小。

4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于：所述通道下部呈上小下大的敞口状。

5.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于：所述容器内具有若干层封住其开口的中板，所述中板上具有让气体穿过的孔隙。

6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：相邻中板之间的孔隙错开布置，以使气体穿过相邻中板时的路径为曲线。

7.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于：同一中板上的孔隙分布在若干同心圆的边上，相邻同心圆上的孔隙错开布置。

8.根据权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于：相邻中板上的圆的直径均不相同，相邻中板之间临近圆上的孔隙错开布置。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的蒸发源装置，其特征在于：还包括对容器进行测温的热电偶。

10.根据权利要求9所述的蒸发源装置，其特征在于：所述热电偶外周侧壁上覆盖有绝缘层，所述热电偶朝向容器的端部周侧的绝缘层上具有一环绕该热电偶端部的凹槽。