[发明专利]一种蒸发源装置

说明书

本发明公开了一种蒸发源装置，包括可加热的容器和对容器进行加热的加热源，所述容器具有一开口，其开口处具有一用于封住开口的顶盖，所述顶盖中部具有一连通容器内部的通道，该通道构成一喷嘴，所述顶盖内具有若干层沿顶盖轴向布置且环绕在通道周侧的反射板。所述通道上部呈上大下小的敞口状。所述反射板具有环绕通道的通孔，所述反射板的通孔的口径从上至下依次减小。本装置喷嘴不易堵塞、使用安全。

技术领域

本发明涉及镀膜设备领域，尤其是涉及一种蒸发源装置。

背景技术

OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

当前投入商业化的OLED显示器件主要有RGB三色OLED显示器件和白光OLED搭配CF显示器件。OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。普通蒸发源一般使用钽等金属加热丝通入直流电加热。根据不同应用需求，点蒸发源坩埚可设计为敞口式、带顶盖及中板式等。

现有蒸发源装置通过加热源（钽等材质）通电产生热量，从而对坩埚（Al₂O₃，PBN等材质）及放置于坩埚中的材料进行加热气化，到达基板后沉积为薄膜。加热源旁或蒸发源底部设置热电偶实时监控坩埚温度，加热源外部设置反射板保温，反射板外部外壁内可设置冷却水夹层对蒸发源进行冷却。坩埚内可设置中板、坩埚顶部开口上可设置顶盖及喷嘴，从而控制坩埚内气流及内压。现有技术存在以下不足之处：

1、喷嘴因局部温度下降易发生材料集聚及堵孔；

2、待蒸发材料发生喷溅，溅出坩埚造成堵孔及基板上异物不良。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种喷嘴不易堵塞、使用安全的蒸发源装置。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种蒸发源装置，包括可加热的容器和对容器进行加热的加热源，所述容器具有一开口，其开口处具有一用于封住开口的顶盖，所述顶盖中部具有一连通容器内部的通道，该通道构成一喷嘴，所述顶盖内具有若干层沿顶盖轴向布置且环绕在通道周侧的反射板。

进一步的，所述通道上部呈上大下小的敞口状。

进一步的，所述反射板具有环绕通道的通孔，所述反射板的通孔的口径从上至下依次减小。

进一步的，所述通道下部呈上小下大的敞口状。

进一步的，所述容器内具有若干层封住其开口的中板，所述中板上具有让气体穿过的孔隙。

进一步的，相邻中板之间的孔隙错开布置，以使气体穿过相邻中板时的路径为曲线。

进一步的，同一中板上的孔隙分布在若干同心圆的边上，相邻同心圆上的孔隙错开布置。

进一步的，相邻中板上的圆的直径均不相同，相邻中板之间临近圆上的孔隙错开布置。

进一步的，还包括对容器进行测温的热电偶。

进一步的，所述热电偶外周侧壁上覆盖有绝缘层，所述热电偶朝向容器的端部周侧的绝缘层上具有一环绕该热电偶端部的凹槽。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、避免喷嘴局部温度不均匀造成的材料集聚及堵塞。

2、避免容器内部的材料因局部过加热产生喷溅使坩埚造成堵孔及基板上异物不良。

3、避免热电偶的头部触碰到加热源导致断线、造成热电偶污染。